판매용 중고 MRC 943 #293749818
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ID: 293749818
빈티지: 1980
In-Line DC Magnetron sputtering system
Position: 3-Target
RF Cathode system
EDWARDS / CTI CRYOGENICS Cryo-Torr Pump, 8"
LEYBOLD D30A Rotary vane pump
LEYBOLD WSU-151 Roots blower
EDWARDS / CTI 9600 Compressor
Does not include targets
Manuals
Baratron gauge non-functional
Missing parts:
Load lock cryopump
Transport scan motor
1980 vintage.
MRC 943은 과학 실험실의 기판에서 박막을 생산하는 데 사용되는 DC/RF 스퍼터링 장비입니다. 증착 속도 범위가 0.002 ~ 10 nm/s인 다양한 두께의 코팅 재료에 적합합니다. 이 시스템은 증착실, RF/DC 전원 공급 장치, 보조 가스 공급 장치 및 진공기로 구성됩니다. 증착실은 최대 10 인치 직경의 수직 장착 마그네트론 표적과 통합 카운터 전극을 특징으로합니다. 기계 및 오일 밀봉 펌프, 드라이 부스터 펌프, 고 진공 작동을위한 터보 분자 펌프 (turbo molecular pump) 를 포함하는 진공 도구와 연결되어 있습니다. 또한, 에셋은 스퍼터링 프로세스 제어 및 전구체 전달에 사용되는 보조 가스 전달 모델을 특징으로합니다. RF/DC 전원 공급 장치는 균일 한 필름 증착을 위해 최대 300W의 전력을 제공하며, 표적 침식을 보상하는 데 사용될 수도 있습니다. 장비는 사용자 정의가 가능하며, 다양한 반응 가스 및 전구체와 함께 사용할 수 있습니다. 다중 영역 모니터링 기능을 갖춘 마이크로 프로세서 기반 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 수동 또는 자동 작동이 가능하며, 고급 상태 진단 및 안전 (Safety) 기능이 있습니다. 또한 원격 통신 기능 (Remote Communication Function) 을 지원하므로 시스템을 원격으로 모니터링, 제어할 수 있으며 사용자에게 보다 유연하고 편리하게 사용할 수 있습니다. 간단히 말해서, 943 은 다양한 박막 애플리케이션에 적합한 안정적이고 고성능 스퍼터링 장치입니다.
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