판매용 중고 MRC 943 #293703391
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ID: 293703391
Sputtering system
Qty / Make / Model / Description
(4) / Granville Phillips / 316 / Vacuum gauge controller
(2) / Varian / 880RS / Vacuum ionization gauge
(10) / SELAC / XT206 / Timer
(2) / MKS / Analog Type 260 / Gas needle valve
(2) / MKS / Display Type 261 / MAS Flow meter
(2) / Varian / - / Diffusion pump
(5) / Assembled / Assembled / Target gun
(1) / ZLX Tech / - / Sputtering target -Titanium
(1) / ZLX Tech / - / Sputtering target -Iron
(1) / ZLX Tech / - / Sputtering target -Cobalt
(1) / ZLX Tech / - / Sputtering target - Chromium
(1) / ZLX Tech / - / Sputtering target - Aluminium
(1) / Advance Energy / MDX-1K / RF Generator
(1) / Advance Energy / MDX-5K / RF Generator
(2) / Assembled / Assembled / Vacuum chamber
(2) / ADWARDES / 40-2Satges / Vacuum pump, (40-2 Satges)
(1) / Assembled / Assembled / Step down stablizer, (110-3 Phase)
(2) / Assembled / Assembled / Electric panel.
MRC 943은 Materials Research Corporation에서 제조 한 스퍼터링 장비 유형입니다. 복수 소스 시스템입니다. 즉, 여러 가지 유형의 박막을 기판에 배치 할 수있는 기능이 있습니다. 943은 마그네트론 스퍼터링 프로세스를 사용하여 코팅을 기판에 매장합니다. MRC 943에는 여러 개의 스퍼터 총을 수용하도록 설계된 18 인치, 6 스테이션 스퍼터링 챔버가 있습니다. 챔버에는 10-4 밀리토르의 기본 압력을 가진 높은 진공 장치가 장착되어 있습니다. 강력한 터보 분자 펌프 (turbomolecular pump) 와 프로그래밍 가능한 가스 제어 기계로 챔버는 10-6 밀리토르의 압력에 도달 할 수 있습니다. 무선 주파수 (RF) 전원 공급 장치는 6 개의 스퍼터 건 각각에 대해 20 와트의 전력을 제공하여 밀접하게 제어 된 박막 증착을 허용합니다. 스퍼터링 건에는 텅스텐, 탄탈럼 또는 기타 비활성 비 파괴 스퍼터링 대상이 장착되어 있습니다. 증착 할 코팅 (coating) 은 단일 공정으로 증착 될 수 있으며, 여러 대상을 사용하여 서로 다른 특성을 가진 다중 레이어 코팅 (multi-layer coating) 을 만들 수 있습니다. 943 의 선형 "로봇 '암 은" 코우팅' 과정 을 완전 히 자동화 할 수 있게 해 주며 전체 기판 을 한 번 에 "스퍼터 '로 코팅 할 수 있다. 스퍼터링 외에도 MRC 943은 어닐링 및 조각 응용 분야에도 사용될 수 있습니다. 어닐링 공정은 방사성 어닐링 (annealing) 을 가능하게하여 기판에 증착 된 박막의 균질 어닐링을 가능하게한다. 조각 프로세스는 집적 회로의 기판에 좁은 홈을 만드는 데 사용됩니다. 943에는 대형 컬러 모니터와 직관적인 PLC (programmable logic controller) 가 장착 된 프로그래밍 가능한 컨트롤러도 있습니다. 강력한 내장형 자동화 제어 도구를 통해 MRC 943 (MRC 943) 은 얇은 필름의 원활하고 자동화된 증착을 제어하고 모니터링할 수 있습니다. 943은 최첨단 스퍼터링 에셋 (sputtering asset) 으로, 박막을 최고의 정밀도로 퇴적시킬 수 있습니다. 다중 소스 (multiple-source) 기능을 통해 다양한 애플리케이션 요구 사항에 맞는 광범위한 기능을 제공합니다. 전체적으로 MRC 943은 이상적인 스퍼터링 모델로, 탁월한 성능과 안정성을 제공합니다.
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