판매용 중고 MRC 943 #293627993

MRC 943 (MRC 943) 은 고급 마그네트론 (Magnetron) 기반 기술을 사용하여 다른 기판에 얇은 재료 필름을 입금하는 스퍼터링 장비 유형입니다. 디지털 PVD (Physical Vapor Deposition) 도구로, 얇은 재료를 적립하는 간단하고 비용 효율적인 방법을 제공합니다. 이 시스템에는 에밴스 (eVance) ™ (eVance) 기술이 적용되었는데, 이 기술은 매우 낮은 자재 비용으로 높은 증착율로 재료를 예치하도록 특별히 설계되었습니다. 943은 2 개의 마그네트론 스퍼터링 모듈을 사용하는 멀티 챔버 유닛이며 금속, 산화물, 실리사이드, 탄소 나노 튜브 등 다양한 유형의 박막을 생산하도록 설계되었습니다. 기계는 접촉하지 않는 기판 전송 도구를 사용하여 지속적인 작동을 가능하게하고 뛰어난 표면 균일성을 달성합니다. 스마트 컨트롤 모듈 (Smart Control Module) 과 데이터 로깅 기능이 장착되어 있어 프로세스 제어 및 최적화를 극대화할 수 있습니다. 필름 재료를 증착하기위한 두 가지 스퍼터링 대상이 있습니다. 대상은 챔버에 장착되며 원통형입니다. 표적은 알루미늄, 스테인리스 스틸, 탄탈럼 등과 같은 고체 금속으로 만들어집니다. 대상은 저항력이 매우 높아 증착률이 낮은 양질의 필름 (film) 을 제작할 수 있습니다. MRC 943 자산에는 유도 결합 플라즈마 소스가 장착되어 있으며, 이는 매우 정확하고 반복 가능한 스퍼터링 프로세스를 만듭니다. "플라즈마 '원 에는 또한" 플라즈마' "에너지 '를 정밀 하게 제어 하는, 조정 가능 한 전원 공급 장치 가 있는 고전압 회선 이 있다. 943에는 기판 온도, 전압, 압력 등 프로세스 매개변수의 자동 프로그래밍을 제공하는 고속, 동적 전원 제어 모델이 내장되어 있습니다. 또한 자가 조정 (self-tuning) 모드를 통해 장비가 필름 증착 프로세스를 최적화하기 위해 프로세스 매개변수를 자동으로 조정할 수 있습니다. 이 시스템에는 in-situ 필름 두께 모니터와 필름 특성화를위한 전자 분광계 (옵션) 가 장착되어 있습니다. 이를 통해 증착 과정을 보다 정확하게 모니터링 할 수 있으며, 증착 된 필름 (deposited film) 을 분석할 수 있습니다. 이 장치는 안정적이고 완벽하게 자동화되며 사용자에게 친숙한 장치입니다. 광학, 전기, 기계 및 생의학 응용을위한 박막 증착 (Thin film deposition) 과 같은 다양한 응용 분야에 사용될 수있는 다재다능한 기계입니다. MRC 943은 PVD에서 오늘날의 요구를 충족시키는 효과적이고, 효율적이며, 신뢰할 수 있는 도구입니다.