판매용 중고 MRC 903M #9166595

MRC 903M은 MuRata Machinery Ltd.에서 설계 및 제조 한 매우 다재다능하고 신뢰할 수있는 스퍼터링 장비입니다. 규소, 구리, 유리, 폴리머, 로우-k 재료 등 다양한 기판에서 정밀 청소, 에칭, 증착 및 박막 처리 응용 분야에 적합한 고급 스퍼터링 도구입니다. 그것은 세 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다: 정확하게 제어 된 진공 챔버, 특별히 설계된 가스 매니 폴드, 로봇 샘플 스테이지 동작 제어 시스템. MRC 903 M 진공실은 1x10-6 Torr의 최후 압력으로 고도의 기계적, 열적, 진공 안정성을 달성하도록 설계되었습니다. 온도 조절 난방 성분은 -25 섭씨 + 150 섭씨 사이의 균일 한 온도를 유지할 수 있습니다. 이 챔버에는 또한 응축 불가능한 가스를 제거하고 샘플 오염을 방지하는 NEG (high-purity, low-outsassing Non-Evaporable Getter Pump) 가 있습니다. 903M은 고순도 Ar, He, O2, N2, NF3, CF4 및 기타 특수 가스를 포함한 다양한 프로세스 가스와 호환되는 인증을 받았습니다. "가스 매니폴드 '장치 는" 스퍼터링' 과정 에 사용 되는 여러 가지 "가스 '의 흐름, 조성 및 압력 을 효율적 으로 조절 한다. "아르곤 '과 비활성" 가스' 를 위한 별도 의 방 과 압력 을 조정 하기 위한 우회 "밸브 '가 있다. 가스 제어 밸브는 가스 흐름을 정확하게 조정 할 수 있도록 정확하게 배치됩니다. 이를 통해 903 M은 다른 기판의 배치 프로파일과 레이어 두께를 정확하게 제어 할 수 있습니다. MRC 903M 로봇 샘플 스테이지에는 2 축 샘플 홀더 및 기계식 클램핑 머신이 사전 설치되어 있습니다. X 축 및 Y 축 동작에서 고정밀 선형 모터가 특징이며, 정확한 위치 지정과 매우 부드러운 동작 패턴을 제공합니다. 또한, 샘플 홀더는 다른 스텝 커버리지 각도를 위해 최대 180도까지 회전하여 더 나은 코팅 균일성을 달성 할 수 있습니다. 결론적으로, MRC 903 M 스퍼터링 도구는 정밀한 박막 코팅 응용 프로그램을 위해 설계된 매우 다재다능하고 기술적으로 향상된 도구입니다. 정밀하게 제어 된 진공 챔버, 동적으로 균형 잡힌 가스 매니 폴드, 고정밀도 로봇 샘플 스테이지 동작 제어 에셋을 포함하여 고정밀 청소, 코팅 및 에칭 프로세스에 이상적입니다.