판매용 중고 MRC 903M #9160487
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ID: 9160487
Sputtering system
Programmable PLC system
(3) Cathode positions
Load lock
CTI 8 Cryopump
Dual stage mechanical pump
Turbo pump option installed for load lock
ADVANCED ENERGY Digital RF power supply
ADVANCED ENERGY Digital RF matching network
ADVANCED ENERGY Digital DC power supply
MKS Digital MFC.
MRC 903M은 박막 재료를 사용하여 표면을 균일하게 코팅하도록 설계된 스퍼터링 장비입니다. 베코 인스트루먼트 (Veeco Instruments) 가 만든이 장치는 박막 광학 제작, 유리 기판에 전도성 재료 증착, 발광 필름 준비에 널리 사용됩니다. 이 시스템은 개선 된 마그네트론 건 (magnetron gun) 구조를 사용하여 넓은 지역에 균일 한 스퍼터 코팅 (sputter coating) 을 생성하고 프로파일 불규칙성이 매우 낮습니다. MRC 903 M의 주요 특징은 필름의 스퍼터 속도, 자기장, 이온화 밀도, 균일 성을 제어하는 기능입니다. 이것은 통합 쿼드 마그네트론 건, 더 큰 영역 평면 목표, 고급 프로세스 제어 소프트웨어로 수행됩니다. 이 총은 다양한 스퍼터 구성을 수용하도록 쉽게 조정할 수 있도록 설계되었으며, 생산 속도를 최적화하는 내장 AI 학습 알고리즘을 포함합니다. 903M에는 생산 중 불규칙성 (불규칙성) 이나 안전 (safety) 문제가 발생하는 경우 자동 종료 장치 (automatic shutdown unit) 와 같은 다양한 통합 안전 기능이 포함되어 있습니다. 또한 제어 기계를 사용하면 이온 플럭스, 목표 온도, 기판 온도 및 RF 주파수를 조정하여 성능을 최적화 할 수 있습니다. 이 도구의 포괄적 인 소프트웨어 패키지는 또한 정확한 UPS (Uniform Sputtering) 를 가능하게하여 생산 효율성을 높이고 균일성을 향상시킵니다. 또한, 903 M은 클래스의 다른 시스템에 비해 비교적 컴팩트하며 유지 보수 및 청소가 용이한 이동식 대상 챔버 (removable target chamber) 를 포함합니다. 이 자산은 또한 작은 실험실에서 대규모 생산 구치 (gooch) 에 이르기까지 스퍼터링 환경에 적합합니다. 또한, 이 모델은 에너지 효율이 높도록 설계되었으며, 전체 생산 에너지 비용을 최대 40% 절감할 수 있습니다. 전반적으로, MRC 903M은 박막 재료 및 광학 부품의 형성에 이상적인 다재다능하고 신뢰할 수있는 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템의 포괄적인 기능과 안전 시스템 (Safety System) 은 최적의 성능을 보장하고 유지 관리 시간을 단축하여 많은 씬 필름 (Thin-Film) 제작 및 연구 애플리케이션을 선호합니다.
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