판매용 중고 MRC 903A #9038716

MRC 903A (MRC 903A) 는 일종의 스퍼터링 장비로, 박막 응용 프로그램을 위해 기판에 박막을 증착하도록 설계되었습니다. 이 제품은 회전식 스퍼터 헤드 (sputter head) 와 고출력 RF 및 DC 전원 공급 장치를 포함하는 다기능 베이스 유닛을 갖춘 고출력 설계입니다. RF 전원 공급 장치는 RF 마그네트론 스퍼터링 건 (sputtering gun) 을 구동하는 데 사용되며, DC 전원 공급 장치는 밀도 높은 플라즈마 포커스 타겟을 구동하는 데 사용됩니다. 스퍼터 헤드는 X-Y-Z 방향 모두에서 조정이 가능하여 넓은 지역에 비해 뛰어난 균일 성을 제공합니다. 이 시스템은 2 개의 재료를 동시에 스퍼터링하기 위해 이중 소스 진공 챔버를 사용합니다. 이중 소스 챔버에는 각각 회전 가능한 스퍼터 헤드가 포함 된 2 개의 독립 챔버가 있습니다. 기판 로드 및 언로드를위한 샘플 로드록 챔버가 포함되어 있습니다. 903A에는 또한 주문된 분자 어레이를 증착하는 데 사용할 수있는 선택적 Langmuir-Blodgett 트로프가 있습니다. MRC 903A는 광범위한 프로세스 모니터링 및 제어 기능을 갖추고 있습니다. "가스 '유동" 컴퓨터' 는 공정 압력 을 조절 하고, 스퍼터 '된 물질 과 Ar + 의 비율 을 감시 하는 데 사용 된다. 이 장치에는 질량 분광계 (O2 및 N2 등 공정 기체 모니터링) 와 RF 출력 측정을위한 결정 발진기 (crystal oscillator) 도 장착되어 있습니다. 샘플의 정확한 온도 조절을 위해 Peltier 요소도 포함됩니다. 903A는 강력한 다목적 스퍼터 머신 (sputter machine) 으로 금속, 질화물 및 산화물 박막 증착에 사용될 수 있습니다. 탁월한 균일성, 고도로 반복 가능하고 신뢰할 수 있는 프로세스 제어, 안전 및 프로세스 제어를 위한 전용 모니터링 (monitoring) 기능을 갖춘 고성능 툴입니다. Langmuir-Blodgett 트로프 (옵션) 를 사용하면 다양한 유전체, 반도체 및 강자성 재료에 이상적입니다.