판매용 중고 MRC 903 #9242553

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제조사
MRC
모델
903
ID: 9242553
Sputtering system Includes: Chamber (3) targets Heating station (No lamps) Load-lock Lift Movements (Except motor and carrier) Diffusion pump Vacuum valves Gas distribution (So So) ADVANCED ENERGY 15 kW DC Power supply Does not includes: Gas pipes Primary pumps Gauges Movements automation.
MRC 903 (MRC 903) 은 박막 구조를 만들기 위해 박막 재료를 표면에 배치하도록 설계된 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 진공 챔버, 진공 펌프, 스퍼터링 건, 자동 로드 챔버 및 컴퓨터 제어 스퍼터 전원 공급 장치로 구성됩니다. 903에는 진공실 내부에서 저압을 유지하기 위해 통합 로터리 베인 펌프가 있습니다. "펌프 '는 대기 압력 으로 공기 를 대피 하기 위해 챔버 입구 에 연결 되어 있다. 챔버는 챔버의 가스를 1x10-6 torr로 대피 할 수 있습니다. 이를 통해 다양한 재료와 기판을 처리 할 수 있습니다. 챔버 내부의 스퍼터링 건 (sputtering gun) 은 대상 재료에서 필름을 기판으로 스퍼터링하는 데 사용됩니다. "스퍼터링 '" 에너지' 는 진공실 내부 의 표적 물질 을 부정적 으로 충전 시키고 "에너지 '를 발산 하는" 이온' 에 의하여 발생 된다. 스퍼터링 공정은 기질에 박색 물질의 얇은 필름을 생성합니다. 생산 프로세스를 최대화하기 위해 MRC 903은 여러 기판을 보유 할 수있는 자동 로드 챔버를 사용합니다. 일단 "스퍼터링 '과정 이 시작 된다. 약실 은 적당 한 압력 으로 대피 하고 "컴퓨우터 '조종" 스퍼터' 전원 공급 장치 는 필요 한 전력 을 대상 재료 에 공급 하는 데 사용 된다. 일단 "필름 '을 증착 시키면, 기질 을 증발기 로 옮겨 가열 시킬 수 있다. 증발 과정 은 균일 한 "필름 '을 만들어 내며, 그 후 냉각" 필름' 으로 옮겨 냉각 시킨다. 일단 "필름 '이 냉각 되면, 그것 은 여러 가지 응용 에 사용 될 준비 가 되어 있다. 903에는 전체 스퍼터링 프로세스를 프로그래밍 및 모니터링 할 수있는 통합 컴퓨터 장치 (computer unit) 가 있습니다. 이 프로세스는 다양한 기판, 영화 및 응용 프로그램 요구 사항에 맞게 사용자 정의 할 수 있습니다. 이 로 말미암아, 높은 정확도 와 균일성 을 지닌 높은 증착율 로, 매우 다양 한 물질 을 증착 할 수 있게 된다. "깨어라!" 전반적으로, MRC 903은 사용자가 정확하고 반복 가능한 필름 증착을 제공하는 효율적인 스퍼터링 머신입니다. 고급 컴퓨터 도구 (Advanced computer tool) 를 사용하여 공정을 완전히 사용자정의하여 고품질의 박막 (thin-film) 을 배치할 수 있습니다. 자산은 다양한 재료, 기판 및 응용 프로그램에 적합합니다.
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