판매용 중고 MRC 903 #9241895

MRC 903은 Advanced Energy에서 개발 한 스퍼터링 장비입니다. PVD (physical vapor deposition) 프로세스에 일반적으로 사용되는 고성능 시스템입니다. 정확한 코팅 및 박막 증착을 용이하게하도록 설계되었습니다. 903에는 단일 챔버 디자인이 있습니다. 챔버는 알루미늄으로 구성되며 고정밀 고정 마그네트론 DC 또는 RF 전원 공급 장치로 구동됩니다. 전원 공급 장치는 디지털 방식으로 제어되며 20W ~ 40kW의 전력을 공급할 수 있습니다. 이 장치는 금속, 유전체, 유기 화합물, 희토류 등 다양한 재료로 정밀 코팅 및 박막 증착이 가능합니다. 스퍼터링 머신에는 짝수 필름 두께와 균일 한 증착에 대한 가스 압력, 압력 및 온도 조절, 대상 재료 및 처리, 바이어스 전압 (bias voltage) 과 같은 다양한 조정 가능한 매개변수가 있습니다. 이 도구에는 최대 300 ° C에 도달 할 수있는 멀티 존 (multi-zone) 기판 기판 히터가 장착되어 있습니다. 이를 통해 자산이 다른 온도 하에서 작동 할 수 있으며, 기판으로 더 깊이 침투 할 수 있습니다. MRC 903의 대상 재료 및 처리에 대한 정밀 제어는 DSM (Dual Source Mechanism) 을 통해 가능합니다. 넓은 기판 영역에 걸친 두꺼운 필름 변형의 고속 증착을 용이하게하도록 설계되었습니다. 이는 여러 개의 독립 소스를 배포할 수 있게 함으로써 달성되며, 개별 소스는 3 개의 축을 따라 이동할 수 있습니다. 903은 또한 포커스 다이오드 구조 (Focused Diode Construction) 를 통해 넓은 기판에 걸쳐 독특하게 균일 한 증착을 제공합니다. 운영 범위 전체에서 증착 능력을 향상시키기 위해 독특한 3 축 매핑 모델이 특징입니다. 이것은 정밀 코팅 작업을 딥 트렌치 (deep-trench) 또는 파인 라인 (fine line) 기능이있는 디스 (deice) 에 매우 유용합니다. 이 장비는 또한 고급 STPS (Substrate Target Positioning System) 를 사용하여 여러 기판에서 증착을 보장합니다. 이 조절 가능 암 (arm unit) 은 정확한 조정을 가능하게하며 4 개의 코너에 기판을 장착해야 하는 응용 프로그램을 위해 설계되었습니다. MRC 903은 효율적이고, 안정적이며, 사용자 친화적인 스퍼터링 머신으로, 다양한 어플리케이션에 적합합니다. 이 도구는 정확한 코팅 (coating) 과 박막 증착 (thin-film deposition) 이 가능한 강력한 도구이며, 넓은 기판 영역에 걸쳐 뛰어난 필름 균일성과 반복 성을 제공합니다.