판매용 중고 MRC 903 #293824914
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ID: 293824914
Sputtering system
(3) Cathodes
Load lock
Programmable HMI/PLC System
RF Etch power supply
Lines
(8) CTI Cryopumps
CTI Compressor
Dual stage mechanical pump
Touch screen controller.
MRC 903은 정밀 코팅 및 표면 엔지니어링을 위해 설계된 크고 강력한 스퍼터 증착 장비입니다. 그것 은 주 로 박막 과 층 (예: 유리, 금속, 세라믹 등) 을 여러 가지 기판 에 증착 시키는 데 사용 된다. 이 시스템은 특수한 스퍼터링 (sputtering) 과정을 사용하는데, 이는 고에너지 전기장에 의존하는 이온 빔 증착 (ion beam deposition) 과정으로 원자와 분자를 물체의 표면에 증착시킵니다. 대형 챔버 (chamber) 는 정밀 제어 장치, 자동 장치 (automated unit) 와 함께 903을 정밀 코팅 응용 분야에 이상적인 선택으로 만듭니다. MRC 903 (MRC 903) 은 큰 챔버 주위에 지어졌으며, 진공 분위기에서 작동하여 공각 코팅과 정밀한 층 두께를 방해하는 오염 물질로 환경을 자유롭게 유지합니다. 이 머신에는 사용자 지정 가능한 챔버 (chamber) 구성과 진공 (vacuum) 기능이 포함되어 있으므로 사용자의 특정 요구에 맞게 조정할 수 있습니다. 고급 제어, 자동화 및 정확한 압력 조정은이 도구를 정확하고 강력하게 만드는 것입니다. 903에는 또한 강력한 구성 요소 및 도구 (예: 증착 공정의 이온 소스, 정밀하고 반복 가능한 코팅을위한 전자 빔 가속기, 압력 제어 자산, 기판을 고정하는 정전기 척, 통합 진공 모델) 가 있습니다. 이들 구성 요소는 모두 함께 작동하여 스퍼터링 (sputtering) 프로세스가 효율적이고 정확하게 완료되도록 합니다. 또한 MRC 903 은 고객의 요구 사항에 따라 스퍼터링 (sputtering) 프로세스의 매개변수를 조정할 수 있는 고급 어댑티브 제어 (adaptive control) 장비를 갖추고 있습니다. 이 제어 시스템은 필름 두께를 세밀하게 조정하고, 전력 수준을 조정하고, 스퍼터링 된 재료의 종과 농도를 결정하는 데 사용될 수있다. 마지막으로, 이 장치는 또한 통합, 자동 품질 관리 (Automated Quality Control), 데이터 수집 소프트웨어 (Data Collection Software), 운영자와 환경을 보호하기 위해 설계된 내장 화재 억제 장치 (내장) 와 같은 다양한 고급 안전 및 품질 제어 기능을 제공합니다. 전체적으로 903은 강력하고 정확한 스퍼터링 증착 도구로, 정확한 코팅 응용 분야에 적합합니다. 견고하고 맞춤형 챔버 구성, 직관적이고 자동화된 제어 및 안전 기능, 고급 어댑티브 컨트롤 에셋 (Adaptive Control Asset) 을 갖춘 이 모델은 모든 정밀 코팅 프로젝트에 적합한 선택입니다.
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