판매용 중고 MRC 903 #293793591

MRC 903은 진공 증착 공정의 연구 및 개발에 사용하도록 설계된 펄스 파워, 솔리드 스테이트 스퍼터링 (solid state sputtering) 장비입니다. 903의 최첨단 아키텍처는 펄스 기판 평면 마그네트론 구성을 특징으로하며 직류 (DC) 및 무선 주파수 (RF) 스퍼터링이 가능합니다. 전력 범위는 최대 800 W, 펄스 너비는 1-400 초입니다. 이 플랫폼은 스퍼터링 프로세스의 최대 유연성과 제어를 위해 설계되었습니다. MRC 903 스퍼터링 시스템은 평면 5 "X 5" 처리 면적과 12 "X 12" 의 소스 치수를 갖는 단일 또는 이중 평면 마그네트론 구성을 특징으로합니다. 뷰 포트가있는 알루미늄 진공 챔버 (aluminum vacuum chamber) 가 있으며, 챔버는 최대 작동 압력 10 mtorr로 4 x 10-7 Torr의 기본 진공으로 펌핑 될 수 있습니다. 온도 조절 및 모니터링은 Brooten NSTL-20 디지털 챔버 열 컨트 롤러에서 관리합니다. 그래픽 디스플레이가 있는 컨트롤 패널은 전원, 펄스 너비, 속도, 주파수, 기판 온도 등의 스퍼터링 매개변수를 제어합니다. 사용자에게 친숙한 매크로를 통해 단일 버튼 푸시 (push) 를 사용하여 최적의 작동 매개변수를 선택할 수 있습니다. 이 소프트웨어에는 최대 10 가지의 스퍼터링 (sputtering) 구성과 여러 가지의 다른 재료를 위한 다양한 사전 결정된 애플리케이션 프로파일이 포함되어 있습니다. 질량 흐름 컨트롤러는 반응성 스퍼터링 작업을 위해 가스 흐름을 정확하게 측정하여 정확도를 향상시킵니다. 작동 중 최적의 압력 레일 (pressure rail) 잠재력을 상세하게 제어하여 고성능을 구현합니다. 903은 절연체 (insulator) 에서 반도체 (semi-conductor) 까지 광범위한 화합물의 증착에 이상적입니다. 반도체, 디스플레이 스크린, 태양 전지, 자동차 코팅과 같은 박막 제품 제조에 광범위한 응용 분야가 있습니다. MRC 903은 정확도, 정밀성, 반복성이 높을 뿐만 아니라, 면적이 넓은 처리량을 제공하며, 생산 프로세스에 적합합니다. 903 스퍼터링 유닛은 안전하고 안정적이며, 쉽게 기존 진공 설정에 통합 될 수 있습니다. 내구성이 높은 구성 요소와 낮은 유지 보수 (maintenance) 요구 사항으로 지속됩니다. 이 기계는 조용히 작동하며 작은 폼 팩터 (form factor) 를 제공하여 단단한 공간에 적합합니다. MRC 903은 모든 청소실 연구 실험실 또는 산업 시설에 적합한 도구입니다.