판매용 중고 MRC 903 series #85308

MRC 903 시리즈 스퍼터링 (sputtering) 장비는 다양한 재료의 박막을 기판에 배치하는 데 사용되는 생산 수준 도구입니다. 대규모 프로덕션 실행에서 정확하고 반복 가능한 박막 증착을 가능하게하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 DC, RF 및 펄스 DC 전원 공급 장치를 사용하여 스퍼터 증착을위한 여러 기술 옵션을 제공합니다. MRC 903 (MRC 903) 은 대형 기판 및 대규모 생산 실행에 100nm-500nm 박막을 배치 할 수있는 고급 물리적 증기 증착 장치입니다. 이 기계에는 다양한 재료를 스퍼터링 할 수있는 회전 대상 어셈블리 (rotational target assembly) 와 DC 및 RF 마그네트론 스퍼터링 옵션 (options) 이 포함됩니다. DC 전원 공급 장치는 최대 500V 가변이며 RF 전원 공급 장치는 최대 500W 가변입니다. 공구에는 공정 제어 피쳐 (process control features) 가 여러 개 있어 배치 프로세스를 정확하게 제어할 수 있습니다. 이러한 기능에는 컴퓨터 제어 가변 압력 챔버, 다중 영역 온도 컨트롤러, 고급 프로세스 모니터링 및 제어 에셋이 포함됩니다. 사용자 친화적 인 인터페이스는 또한 복잡한 레시피를 개발, 저장, 리콜할 수있는 고급 프로그래밍 옵션을 제공합니다. MRC 903 스퍼터링 (Sputtering) 모델에는 증착 과정을 현장 적으로 볼 수있는 액티브 뷰 챔버 (Active View Chamber) 가 있으며, 이를 통해 조건의 실시간 최적화를 통해 원하는 박막 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, 이 모델은 자동화된 소스-샘플 (source-to-sample) 운송 장비와 통합되어 대형 기판에 걸쳐 박막 (thin film) 을 빠르고 효율적이며 반복적으로 증착 할 수 있습니다. 전체적으로 903 시리즈 스퍼터링 시스템은 박막 증착을위한 안정적이고 고급 생산 솔루션입니다. 고성능 스퍼터링 (Sputtering) 기능, 고급 기능, 대용량/소용량 운영 실행을 위한 유연성 등을 갖춘 이 제품은 박막 증착을 위한 효율적이고 효과적인 솔루션을 제공합니다.