판매용 중고 MRC 902M #9199362

MRC 902M (Fully Automated Sputtering) 장비는 스퍼터 증착과 우수한 유지 보수 및 안전 기능을 정확하게 제어하도록 설계되었습니다. 그것은 3 개의 고도로 조절 가능한 마그네트론 소스의 병렬 배열을 특징으로합니다. 큰 챔버, 광범위한 공정 유연성, 청결성 및 접근성을 통해 금속, 세라믹 또는 복합 소재를 포함한 다양한 재료의 연구 및 개발에 적합합니다. 902M에는 2 개의 150mm (6 ") 직경 음극과 1 개의 100mm (4") 직경 음극이있는 공정 챔버가 있습니다. 각각 는 자석 의 높이, 입사 각도, 회전 각도, 장 강도 에 대해 독립적 으로 조정 할 수 있으며, 여러 가지 재료 와 서로 다른 "필름 '두께 를 수용 할 수 있다. 자석 구성은 심지어 필름 커버리지 (film coverage) 와 펄스 (pulse) 에 대한 존재 각도를 최적화하여 증착 속도를 제어하도록 조정할 수 있습니다. 공정 방의 디자인에는 초음파 적재물, 트윈 대피 밸브, 밸러스트 병, 오염 물질로부터 내부를 보호하는 챔버 도어 (chamber door) 가 포함됩니다. 5 포트 배기 시스템은 빠른 펌핑과 고압 균일성을 제공합니다. 이 장치에는 시스템 작동을 위한 강력한 제어 콘솔 (Control Console) 이 장착되어 있어 복잡한 프로세스를 구성하고, 공구가 작동하는 동안 매개변수를 조정하며, 에셋의 여러 측면을 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 사용자에게 친숙한 인터페이스와 강력한 온라인 모니터링, 알림, 진단 기능을 갖추고 있습니다. 또한 프로그래밍 가능한 PID 컨트롤러는 사용자 정의 설정으로 자동 작동을 활성화합니다. MRC 902M은 뛰어난 안전 기능을 갖춘 다목적 스퍼터링 모델입니다. 이러한 기능에는 고온 경보, 고압/저압 오류를 방지하기위한 압력 제어 인터 록 (interlock) 및 열 경보 처리가 포함됩니다. 효율적인 여과 장비는 99.97% 효율의 HEPA 필터, 교체 가능한 탄소 필터 및 사전 필터로 구성됩니다. 902M은 다재다능하고 신뢰할 수있는 스퍼터링 시스템으로, 재료의 증착을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 강력한 기능과 쉽게 조절 가능한 설정 (setting) 을 통해 광범위한 연구 개발 (research and development) 애플리케이션에 적합합니다.