판매용 중고 MRC 902 #9400745

MRC 902 스퍼터링 장비는 박막 (thin film) 과 나노 미터 (nanometer) 수준의 코팅 층의 증착이 필요한 다양한 연구 응용 분야에 사용될 수 있습니다. 최대 600x600mm 크기의 소형, 대형 기판을 처리 할 수있는 대용량 기판 증착 시스템 (대용량 기판 증착 시스템) 이다. 902에는 환경 담요 챔버가 있습니다. 내부는 공기-머플링 2 층 구조로 구성되어 있으며, 스퍼터링 동안 최대 음향 감소 및 진동 제거가 가능합니다. 또한, 모든 챔버 하드웨어 (chamber hardware) 는 완전한 어셈블리로 밀봉되며 만능 안전 도어로 더욱 보호됩니다. MRC 902는 조절 가능한 평면 자기 및 RF 내부 코일을 특징으로하며, 이는 뛰어난 스퍼터링 균일성 및 품질 레이어 증착을 제공합니다. 스퍼터링 대상은 플레이트 회전 축 (plate rotation axis) 의 중심에 위치하며 아르곤 가스 (argon gas) 로 둘러싸여 다수의 반응성 스퍼터링 프로세스를 가능하게합니다. 902는 또한 교체 가능한 세그먼트와 조정 가능한 지지대 (adjustable support rod) 가있는 다양한 스퍼터링 선택 음극을 갖추고 있으며, 커브 및 증착 프로파일을 사용자 정의할 수 있습니다. MRC 902에는 자동 배치 인터페이스 (Automatic Batch Interface) 도 장착되어 있으며, 이를 통해 사용자는 배치 매개변수를 쉽게 프로그래밍할 수 있습니다. 또한, 컴퓨터 제어 레시피를 가능하게하며, 이를 반복하여 일관되고 재현 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. ABF는 또한 내장 타이머 (timer) 를 포함하여 정확한 시간과 정확한 가스 흐름 제어를 가능하게하여 증착 조건을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 902는 외부 제어 스캐닝 다중 축 이동 및 기판 스피너를 제공하여 정확한 기판 증착을 보장합니다. 또한 증착 후 (post-deposition) 소스 대피 장치를 갖추고 있으며, 각기 다른 기판 및 필름에 맞게 변경 할 수있는 맞춤형 대피 시간이 있습니다. 결론적으로, MRC 902는 고급 스퍼터링 머신 (sputtering machine) 으로, 고품질 필름과 레이어를 작은 기판과 큰 기판 모두에 배치할 수 있습니다. 안정적이고 효율적이며, 증착 매개변수 및 기판 위치를 정확하게 제어합니다. 902는 뛰어난 스퍼터링 균일성, 음향, 진동 감소 및 작동이 매우 쉽습니다.