판매용 중고 MRC 902 #9388781
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MRC 902는 다양한 재료를 처리하도록 설계된 산업용 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 스퍼터링 (sputtering) 으로 알려진 물리적 증기 증착 (physical vapor deposition) 을 통해 기판 표면에 얇은 재료 층을 생성 할 수 있습니다. "902 '의" 디자인' 은 산업 과 과학 분야 에서 사용 하는 데 적합 하며, 대부분 의 "스퍼터링 '필요 에 맞도록 구성 할 수 있다. MRC 902는 다양한 인클로저가 장착된 섀시로 구성됩니다. 섀시는 열 단열뿐만 아니라 진공 펌프 (vacuum pump) 와 장치의 주 컨트롤러 (main controller) 와 같은 활성 컴포넌트를 포함합니다. 902에는 다른 프로세스를 처리하도록 설계된 2 개의 독립적 인 실이 있습니다. 챔버 안에는 스퍼터링 소스 (sputtering source) 가 있으며, 이는 퇴적 될 물질을 제공합니다. 이 소스는 자유롭게 배치할 수 있으며, 응용 프로그램에 가장 적합하도록 조정된 각도입니다. 각 소스는 범용 전원 공급 장치 컨트롤러 (Universal Power Supply Controller) 에 연결되어 올바른 재료 증착률을 제공하기 위해 애그노스적으로 프로그래밍 할 수 있습니다. MRC 902에는 RF 발전기가 장착되어 소스 재료를 이온화하고 스퍼터링을 시작합니다. 902는 다양한 기판 크기와 모양을 처리하도록 설계되었습니다. 이것은 드라이브 벨트가 있는 대상 챔버 (target chamber) 를 사용하여 가능합니다. 이를 통해 다른 대상 형상을 기계에 공급할 수 있습니다. "벨트 '는 또한 그 설계 로 인하여 공기 입자 의 오염 위험 을 최소화 하는 데 도움 이 된다. MRC 902 (MRC 902) 에는 챔버 내부에 필요한 진공 수준을 달성하고 유지할 수있는 통합 진공 공구가 장착되어 있습니다. 자산은 2 개의 황삭 단계와 높은 진공 서브 모델을 사용합니다. 902는 또한 스퍼터링 공정의 인시 (in-situ) 청소 및 분석에서 이점이 있으며, 이는 질량 분석기, X- 선 광전자 분광기 및 기타 분석 도구를 통해 달성됩니다. 이 모든 부품 들 은 깨끗 한 작업 환경 을 조장 하고 오염 을 최소화 하기 위해 "챔버 '안 에 장착 된다. MRC 902 스퍼터링 장비는 대규모 및 소규모 스퍼터링 어플리케이션을 위한 안정적이고 효율적인 솔루션입니다. 확장 가능한 설계 (Expandable Design) 와 결합된 고급 재료 (Advanced Materials) 와 컴포넌트 (Component) 를 사용하여 특정 응용 프로그램의 요구 사항에 맞게 맞춤형으로 구성할 수 있습니다.
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