판매용 중고 MRC 902 #9286004

MRC 902 스퍼터링 장비는 반도체 재료 처리 및 연구 응용을 위해 설계된 고급 증착 도구입니다. 그것 은 전기 방전 에 의해 생성 된 "에너지 '에 의한" 이온' 으로 표적 물질 을 폭격 하여 기판 에 박막 을 만드는 데 사용 된다. 스퍼터링 (Sputtering) 은 먼저 전류를 유도하여 진공 챔버에 가스 이온 플라즈마를 생성함으로써 작동합니다. 그런 다음, 대상 재료 를 얇은 침전물 로서 표적 "소오스 '로부터 기판 으로" 스퍼터' 한다. 902 스퍼터링 시스템 (sputtering system) 은 증착 과정을 정확하게 제어하여 두께가 균일 한 정확한 박막 (thin film) 을 만들 수 있습니다. 이 장치에는 22 개의 대상 소스 구성, 여러 개의 스퍼터링 소스, 다양한 전류 밀도의 스퍼터링 소스 등 다양한 기능이 있습니다. 이 기계에는 소스 조작 및 정확한 목표 위치를위한 5 축 로봇 암도 있습니다. 넓은 영역 기판에 비해 균일 한 층의 전체 범위를 달성 할 수 있습니다. MRC 902 (MRC 902) 는 또한 증착 프로세스를 실시간으로 모니터링하기위한 정교한 프로세스 제어 도구를 가지고 있으며, 조정 가능한 매개변수를 사용하여 필름 특성을 최적화합니다. 이러한 매개 변수에는 압력, 진공 수준, 온도, 공정 가스 흐름, 소스 구성 및 전력 수준 및 대상-기판 거리가 포함됩니다. 이 자산에는 효율적인 운영을 위해 직관적 인 사용자 인터페이스도 있습니다. 902 스퍼터링 모델은 제조 및 연구 응용을위한 신뢰할 수 있고 다양한 솔루션입니다. 정밀한 제어 기능을 갖춘 균일 한 박막 (thin film) 을 생산하여 제조업체에 고급 장치 응용 분야에 적합한 우수한 기판을 제공합니다. 수많은 기능과 사용자 친화적 인 인터페이스 (user-friendly interface) 로 인해, 재료 증착 및 연구용으로 시장에서 가장 인기있는 시스템 중 하나입니다.