판매용 중고 MRC 902 #9254520

MRC 902는 물리적 증기 증착 (PVD) 프로세스에 일반적으로 사용되는 스퍼터링 시스템 유형입니다. 6 인치 또는 8 인치 마그네트론 2 개가있는 고순도, 단일 또는 이중 끝, 차가운 벽, 다이오드 스퍼터링 시스템입니다. "에너지 '가 높은 전자 광선 을" 이온' 원 으로 이용 하여 다른 "스퍼터링 '계 보다 더 높은 증착 속도 와 더 나은 적합성 을 달성 할 수 있다. 902는 특허를받은 '캐스케이드 (Cascade)' 바이어싱 방법을 사용하여 광역 적용 범위와 적합성을 위해 분당 최대 40 개의 옹스트롬을 높일 수 있습니다. 또한 균일성 성능을 향상시키기 위해 마그네트론의 압력, 힘, 기하학적 구성을 신중하게 최적화합니다. 또한 전원 공급 장치는 고압 (High Voltage) 호출 및 기타 비정상적인 성능으로부터 보호하기 위해 고급 (Advanced) 보호 회로를 사용하도록 설계되었습니다. MRC 902에는 통합 평면 튜브 (Planar Tube) 전원 공급 장치가 장착되어 있으며, 단일 및 이중 종료 작동의 이중 기능을 유지하면서 2 개의 6 인치 또는 8 인치 마그네트론을 결합 할 수 있습니다. 이 고급 기능을 통해 902는 작고 큰 기판을 실행할 때 처리량을 높일 수 있습니다. 또한, 다중 MRC 902를 다중 챔버 시스템에 장착하면 평면 튜브 전원 공급 장치를 원격으로 제어 할 수 있습니다. MRC 902 (MRC 902) 는 또한 중단 없는 성능을 제공하기 위해 쉽게 프로그래밍할 수있는 자동화 메커니즘을 갖추고 있으며, 이를 통해 재설정 (reset) 및 처리 시간을 대폭 줄일 수 있습니다. 이는 프로세스 매개변수 조정 (process parameter adjustment) 및 데이터 읽어들이기 (data retrieval) 에 사용할 수 있는 사용하기 쉬운 그래픽 소프트웨어 인터페이스로 더욱 향상되었습니다. 902는 스퍼터링 박막 (sputtering thin film), 반도체 장치 처리, 광학 코팅, 데이터 저장, 디스플레이 모니터 등 다양한 응용 분야에서 사용하도록 설계되었습니다. 높은 신뢰성과 견고성으로 인해 항공 우주, 자동차, 의료 기기 제조 (medical device manufacturing) 등 다양한 산업에서 사용할 수 있습니다. EMC DL 시리즈 (Virtual Tape Process Control) 의 기능은 또한 프로세스 제어와 유연성이 정확하게 필요한 연구/개발 애플리케이션에 적합한 솔루션입니다.