판매용 중고 MRC 902 #50686

제조사
MRC
모델
902
ID: 50686
Sputtering system (2) Targets: ANGSTROM SCIENCES planar magnetron, 5x15" (2) MFC's: UNIT Controller: TECHWARE 68000 DC power supplies: ADVANCED ENERGY MDX-5 High uniformity shield (used for TaN sputtering): 1% across the pallet MKS 270 and baratron GP-303 IG controller Flat screen monitor Membrane keyboard.
MRC 902는 과학 연구 및 산업 응용을 위해 재료를 퇴적시키기 위해 설계된 최첨단 스퍼터링 장비입니다. 프리미엄 RF (Radio Frequency) 소스 및 DC (Direct Current) 기판 바이어스 컨트롤이 장착되어 있어 정확성과 정확성이 뛰어납니다. 정밀한 온도 조절을 통해, 시스템은 정확한 강착 속도를 달성 할 수 있으며, 이는 특성 (properties) 이 다른 다양한 재료를 정확하게 강착 할 수 있습니다. 902는 2 개의 음극으로 구성됩니다. 하나는 음극 위치를 다시 조정하지 않고 여러 개의 대상 재료를 스퍼터팅 할 수있는 주 음극 (main cathode) 과 다양한 단일 재료 보조 장치 (single-material assillary unit) 가 있습니다. 부수적 인 장치 는 여러 가지 형태 와 크기 의 표적 (target) 을 수용 할 수 있도록 구성 될 수 있으며, 여러 기판 에 걸친 증착 (deposition) 이 가능 하다. 또한이 장치에는 10 개의 옹스트롬만큼 얇은 층에서 더 높은 순도 재료를 만드는 데 사용되는 정교한 EUV (Extreme Ultraviolet) 구성 요소가 포함되어 있습니다. MRC 902에는 초안정 RF 전원 공급 장치 (RF Power Delivery Machine) 와 전력 흐름을 제어하기위한 강력한 기능이 장착되어 있어 정확하고 일관된 재료 증착률 및 증착 두께를 제공합니다. 또한, RF 전원 도구를 사용하면 에셋이 고도로 맞춤형 애플리케이션을 위해 다양한 조합으로 여러 재료를 스퍼터팅 할 수 있습니다. 스퍼터링 프로세스는 고급 닫힌 루프 온도 제어 (Advanced Closed-Loop Temperature Control) 를 사용하여 프로세스 공차를 단단히 유지하므로 레이어 두께가 균일합니다. 이 모델에는 내장형 배기 (exhaust) 및 정화 장비 (purification equipment) 가 포함되어 있어 챔버의 산소 농도를 정확하게 조정할 수 있으며, 이는 최고 품질의 예금을 보장합니다. 902 스포츠는 거의 모든 응용 분야에 이상적인 스퍼터링 시스템 (sputtering system) 으로 만드는 다양한 기능을 제공합니다. 손쉽게 조정하고 모니터링할 수 있는 편리한 터치스크린 인터페이스를 제공합니다. 이 도구는 프로세스 매개 변수를 모니터링하고 보고하기위한 고정밀 측정 기능도 제공합니다. 마지막으로, 시각 모니터링을 위해 증착 공정의 고해상도 이미지를 캡처하기위한 도구가 포함됩니다. 전반적으로, MRC 902는 연구 및 산업 사용자에게 탁월한 성능과 반복성을 제공하는 고도로 유능한 스퍼터링 장치입니다. 그것 은 광범위 한 재료 와 "기판 '을 처리 하도록 설계 되었으며, 매우 정확 하고 정확 한 증착 을 가능 하게 한다.
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