판매용 중고 MRC 902 #293631817

MRC 902는 얇은 필름을 기판에 배치하도록 설계된 스퍼터링 장비입니다. 정밀도가 높은 필름을 제작할 수 있으며, 균일성과 제어가 매우 뛰어납니다. 이 시스템에는 이온 소스, 진공 선박, 전원 및 샘플 홀더가 포함됩니다. 902의 이온 소스는 고전류, 저방출 광선 방전 (GD) 소스입니다. 이 소스 (source) 는 광범위한 에너지 수준을 가진 빔을 생성 할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 빔의 에너지를 조정하여 원하는 필름 두께 (film thickness), 구성 (composition) 및 형태 학적 특성을 생성 할 수 있습니다. GD 소스는 또한 조절 가능한 자기 바이어스 (self-bias) 를 가지고 있으며, 이를 통해 스퍼터 프로세스 동안 이온 전류를 제어 할 수 있습니다. MRC 902의 진공 용기는 압력 조절 장치가있는 스테인리스 스틸 챔버입니다. 이를 통해 통제 된 진공 환경에서 증착이 수행됩니다. 선박에는 스퍼터링에 필요한 가스를위한 여러 개의 입구/출구 포트가 장착되어 있습니다. 이러한 포트는 쉽게 설치하고 유지 관리할 수 있도록 설계되었습니다. 902의 전원은 고전압 직류 (DC) 발전기입니다. 이 생성기는 0 ~ 250 A 사이의 전류를 생산할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 특정 애플리케이션의 출력 전원을 조정할 수 있습니다. 기계는 또한 기판 온도의 지속적인 모니터링을위한 귀납성 와전류 모니터를 포함합니다. 마지막으로 MRC 902에는 고정밀 샘플 홀더가 포함됩니다. 이 홀더를 사용하면 사용자가 진공 상태 (vacuum) 에서 기판을 정확하게 종료하여 증착 중 성능 향상을 보장할 수 있습니다. 기판의 각도 (angular) 위치를 제어하고 다양한 기판 크기를 수용하도록 샘플 홀더를 조정할 수도 있다. 요약하자면, 902 스퍼터링 도구는 균일성과 제어가 뛰어난 고정밀 박막을 생산할 수 있습니다. 에셋에는 이온 소스 (ion source), 진공 선박 (vacuum vessel), 전원 소스 (power source), 샘플 홀더 (sample holder) 및 특정 응용 프로그램의 증착 프로세스를 조정할 수있는 기타 기능이 포함됩니다.