판매용 중고 MRC 8667 #9276506

MRC 8667은 재료 증착 및 표면 처리에 사용되는 최첨단 스퍼터링 장비입니다. 듀얼 회전 가능 필터 플럭스 및 모듈식 전원 공급 장치가 장착되어 있습니다. 주로 스퍼터 소스 세트, 진공 펌핑 시스템, 대피 및 압력 측정 장치, 기계 컨트롤러 (machine controller) 로 구성됩니다. 스퍼터 소스는 아크 챔버, 흑연 홀더 및 정전기 그리드로 구성됩니다. 아크 챔버 (Arc Chamber) 는 스퍼터링 목표를 보유하며 대피 된 환경에 봉인되어 일관되게 높은 진공을 보장합니다. 흑연 홀더와 정전기 그리드 (electrostatic grid) 는 아크 챔버의 균일 성과 에너지 관리를 크게 향상시킵니다. 진공 펌핑 도구 (vacuum pumping tool) 는 스퍼터링 및 증착이 발생할 정도로 압력이 일관되게 낮아집니다. 로터리 베인 펌프, 스크롤 펌프, 이온 펌프, 터보 펌프와 같은 일련의 펌프로 구성됩니다. 이러한 펌프는 시리즈로 연결되어 있으며 필요에 따라 적절한 대피 매개 변수를 제공합니다. 대피 및 압력 측정 에셋은 아크 챔버 (arc chamber) 내의 압력을 정확하게 측정하는 데 사용되며, 펌핑 모델을 적절하게 조정합니다. 스퍼터링 장비는 대상 선택 (target selection), 전류 (current), 온도 (temperature), 압력 (pressure) 과 같은 모든 매개변수를 관리하는 컨트롤러로 작동합니다. 매개변수는 원하는 재료가 기판에 배치되도록 설정됩니다. 또한 컨트롤러는 모든 매개 변수를 지속적으로 모니터링하여 일관되게 고품질 (high-quality) 프로세스를 보장합니다. 전체 시스템에는 비상 셧다운, 전류 제한, 유압 제동 등의 안전 기능이 장착되어 있습니다. 8667 은 다양 한 "스퍼터링 '장치 로서, 고품질 과 정밀도 로 매우 다양 한 물질 을 증착 할 수 있다. 그것 은 광범위 한 기능 과 능력 을 가지고 있어서, 진공 "박막 '증착 으로부터 반도체 및 전자 제품 처리 에 이르기 까지 다양 한" 응용' 에 적합 하다.