판매용 중고 MRC 8667 #9128020

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제조사
MRC
모델
8667
ID: 9128020
Sputtering system Configured for 3 targets Co-sputtering ION/TC gauge Etch option CTI 8 cryopump and compressor LH D30A dual stage vacuum pump.
MRC 8667은 산업 및 연구 응용을 위해 설계된 고급 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 마그네트론 스퍼터링 공정 (magnetron sputtering process) 을 사용하여 다양한 재료를 스퍼터링하도록 설계되었습니다. 이 과정 은 자기장 을 사용 하여, 정밀 한 두께 조절 을 하면서, 얇은 "필름 '을 대상 재료 에 균일 하게 배치 하는 과정 을 포함 한다. 이 장치는 각각 직경 범위가 최대 8 인치 인 2 개의 표준 기판 홀더를 제공합니다. 더 높은 증착율 코팅은 더 큰 기판에 선택적 트리플 헤드 (triple head) 를 사용하여 사용할 수 있습니다. 8667 에는 가변 전원 공급 장치 (Variable Power Supply) 와 증착 과정을 정확하게 제어하기위한 타이머도 포함되어 있습니다. 가변 전원 공급 장치 (variable power supply) 는 전압 및 전류의 변화를 허용하며, 타이머는 코팅 프로세스의 지속 시간을 설정합니다. 기계 는 고유 한 자기 "코일 '설계 를 이용 하여 표적 재료 주위 에 축 자기장 을 만든다. 이것은 전체 기판 표면에서 균일 한 필름을 가능하게보다 균일 한 스퍼터링 속도를 만듭니다. 공랭식 머리 (air-cooled head) 에 의해 공정 중에 대상 재료가 고정되어 증착 중 열 손상을 방지합니다. MRC 8667 (On-Board Touch Screen Monitor) 에는 컴퓨터가 필요 없이 스퍼터 프로세스를 직접 제어 할 수있는 온보드 터치 스크린 모니터가 있습니다. 모니터에 가공소재 온도 (Workpiece Temperates) 및 기판 온도 (Substrate Temperate) 등의 정보가 표시되므로 사용자가 프로세스를 모니터링할 수 있습니다. 이 도구에는 장비를 처리하는 동안 사용자를 보호하기 위한 포괄적인 안전 자산 (Safety Asset) 이 제공됩니다. 여기에는 비상 정지 버튼, 비상 배기 모델 및 잠금 장비가 포함됩니다. 정확한 두께 모니터링을 위해 자동 흐름 보정 및 매개변수 감지도 포함됩니다. 최대 사용 편의성을 위해, 시스템에는 여러 개의 입/출력 포트가 있는데, 이 포트를 사용하여 제어 시스템을 추가하고 스퍼터 프로세스를 모니터링할 수 있습니다. 배치 매개변수 및 기타 정보에 대한 직접 제어 및 데이터 로깅을 허용하는 이더넷 (Ethernet) 포트가 포함됩니다. 8667 유닛은 산업 및 연구 응용 분야를 위해 설계된 고급 스퍼터링 머신입니다. 이 도구는 독특한 스퍼터 헤드 (sputter head) 와 자기 코일 (magnetic coil) 설계로 인해 정확한 두께 제어 및 균일 한 필름 증착을 제공합니다. 이 자산은 안전 기능과 함께 이더넷 연결 (Ethernet connectivity), 자동 흐름 조정 (auto-flow calibration) 및 다양한 모니터 기능도 함께 제공하므로 지속적인 피드백과 최대 사용 편의성을 보장합니다.
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