판매용 중고 MRC 8667 #9007986

MRC 8667은 고품질의 처리량 박막 증착을 위해 설계된 스퍼터링 장비입니다. 시스템의 주요 구성 요소에는 RF (High Power Radio Frequency) 스퍼터 소스 (Sputter Source) 가 있는데, 이 소스는 소스에서 기판으로, 회전 대상, 차폐 셔터 및 로드 잠금 메커니즘으로 재료를 전송하는 데 사용됩니다. RF 스퍼터 소스는 다른 스퍼터링 요구를 수용하기 위해 3 가지 별개의 전원 설정을 제공합니다. 목표는 회전 메커니즘으로, 얇은 필름의 빠른 증착과 균일 한 코팅을 허용합니다. 방패 "셔터 '를 조정 할 수 있으며, 필요 하다면 닫거나 열어서" 스퍼터' 처리 중 에 재료 가 장치 에 들어가지 못하게 할 수 있다. 로드 잠금 (Load Lock) 메커니즘은 공기 노출을 최소화하면서 기판을 로드 및 언로드하는 데 사용됩니다. 8667은 정교한 컨트롤 머신 (control machine) 을 특징으로하여 사용자가 스퍼터 증착률을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 도구는 스퍼터 속도, 목표 온도 및 압력을 정확하게 제어합니다. 또한, 자산 내의 스퍼터 소스를 쉽게 제거하고 다른 재료 세트 (material set) 로 교체하여 빠르고 쉬운 대상 에칭 (etching) 을 할 수 있습니다. 이 모델은 또한 다중 단계 프로그래밍 (multiple step programming) 을 특징으로하며, 이를 통해 사용자는 단일 설정으로 여러 레이어를 배치할 수 있습니다. MRC 8667은 산화물, 질화물, 결합층 증착, 화합물 증착과 같은 까다로운 산업 응용에 적합합니다. 또한 Germanium, Silicon Carbide 및 Tungsten과 같은 재료의 정밀 스퍼터링에도 적합합니다. 이 장비는 베어 (bare) 및 패턴 (patterned) 기판을 포함한 다양한 기판과 호환되며, 이는 반도체 및 LED 제조에서 항공 우주 및 방위 산업에 이르기까지 다양한 응용 분야에 이상적입니다. 8667은 뛰어난 표면 마감과 낮은 결함 밀도, 향상된 예측 가능성 및 프로세스 반복성을 제공합니다. 이 시스템은 또한 안전 사고 (Safety Hazard) 를 신속하게 감지하고 대응하는 데 사용될 수있는 통합 안전 장치 (Integrated Safety Unit) 를 갖추고 있습니다. 이 머신은 내구성, 안정성, 효율성이 뛰어나며, 높은 성능, 비용 효율적인 스퍼터링 툴을 제공합니다.