판매용 중고 MRC 8667 #293655700

MRC 8667은 정확한 필름 코팅 생산을위한 소형 RF 마그네트론 스퍼터링 장비입니다. 이 제품은 DC (Direct-Current) 기반 환경에서 작동하도록 설계되었으며, 다양한 기능을 제공하여 어플리케이션의 품질과 균일성을 향상시킵니다. 8667은 범용 박막 코팅 (thin-film coating), 특수 나노 스케일 증착 (nanoscale deposition), 심지어 하드 코팅 및 보호 레이어와 관련된 고급 코팅 응용 프로그램 (advanced-coating application) 에 이르기까지 다양한 유형의 응용 분야에 적합합니다. 다이아몬드와 같은 탄소 (DLC) 및 비용이 많이 드는 저k 유전체 필름과 같은 도전적인 기질을 처리하도록 설계되었습니다. MRC 8667 (MRC 8667) 은 봉인 된 벨 항아리가있는 공정 챔버 (process chamber) 와 최대 5 개의 다른 음극을 지원하는 기능 및 다양한 기판 및 기타 필요한 장비로 구성됩니다. 최대 작동 압력은 최대 10 Torr, 기본 온도는 -10 ° C입니다. 온도는 PID 컨트롤러에 의해 제어되며 공정 가스는 MFC (Mass Flow Controller) 를 통해 도입됩니다. 챔버의 추가 기능으로는 석영 관측 창 (quartz observation window), 플러싱 포트 (flushing port) 및 가공 중 기판을 고정하는 정전기 척 (electrostatic chuck chuck) 이 있습니다. 이 시스템에는 최대 3kW의 스퍼터링 (sputtering) 이 가능한 RF (Integrated Radio Frequency) 전원 공급 장치가 포함되어 있어 넓은 영역 기판보다 높은 품질의 균일 한 코팅을 제공합니다. 또한 전원 공급 장치는 마그네트론 회전 (magnetron rotation), 펄스 작동 (pulse operation) 과 같은 추가 옵션으로 각기 다른 증착 프로세스의 작동을 지원합니다. 이러한 옵션은 선택적으로 조절 가능한 전원 수준을 제공하여 필름 품질 (Film Quality) 과 구조 (Structure) 를 보다 세밀하게 제어할 수 있습니다. 또한 프로세스 상태를 모니터링하고 각 코팅 작업에 사용되는 매개변수의 추적 (traceability) 을 제공하는 디지털 모니터링 장치 (digital monitoring unit) 가 있습니다. 8667은 또한 MRC Resolve (TM) 측정 머신 (in-situ diagnostics) 과 같은 고급 진단 기능을 가지고 있으며, 이는 공정 챔버가 작동 상태에 있는 동안 증착 된 필름의 높은 정확도를 측정합니다. 이것은 연구자들이 실시간으로 기질을 측정하는 동안, 증착 조건과 필름의 특성을 연구하는 데 도움이됩니다. 또한, 이 도구는 작업 프로파일을 제어할 수 있으며, 다른 처리 단계 (processing steps) 간에 지연 시간을 제공합니다. MRC 8667 스퍼터링 자산은 박막 코팅 생산에 많은 이점을 제공합니다. 이 제품은 워크플로우 내에서 빠르고 효율적으로 설치할 수 있는 컴팩트하고 모듈식 설계를 제공합니다. 이 모델은 작동하기 쉽고 프로세스 제어를 위한 몇 가지 옵션이 있으며, 통일성과 품질이 높은 필름 (film) 을 제공합니다. 또한 추적 가능성, 온보드 진단 (on-board diagnostics) 및 저오염으로 인해 다양한 애플리케이션에 적합합니다.