판매용 중고 MRC 8667-A #9060240

MRC 8667-A는 다양한 재료를 증착하도록 설계된 최첨단 스퍼터링 장비 (SPS) 입니다. 이 시스템에는 저온 (low temperature), 저전압 (low voltage) 및 낮은 운영 비용과 같은 기능이 있으므로 더 큰 제어 및 원하는 재료 증착이 가능합니다. 2 개의 마그네트론을 장착하여 평면 및 비 평면 기판을 모두 처리 할 수 있습니다. 두 개의 독립적 인 마그네트론 (magnetron) 은 독립적으로 또는 조합하여 작동하여 광범위한 코팅 구조와 프로세스를 가능하게합니다. 이 장치는 2 개의 독립 전원 공급 장치, 진공 실 및 기지국으로 구성됩니다. 간편한 유지 보수 및 운영을 위해 설계되었습니다. 기지국 (Base Station) 은 시스템 및 모니터링 증착 프로세스를 제어하기 위한 다양한 소프트웨어/하드웨어 구성 요소를 제공합니다. 전원 공급 장치는 전류, 전압, 기판 온도, 기판 차폐 등 기판 증착 매개변수를 정확하게 제어합니다. 고전압 및 저전압 전원 공급 장치 (low voltage power supply) 도구를 통해 각 마그네트론을 독립적으로 제어 할 수 있습니다. 자산의 진공실은 2 개의 병렬 프로세서, HFG (High Frequency Generator) 및 HPG (High Power Generator) 로 구성됩니다. 이 두 발전기는 빠르고 효율적인 증착 프로세스를 가능하게합니다. HFG는 짧은 기간 동안 고주파 버스트를 생성하는 반면, HPG는 저주파 지속 전압을 생성합니다. 둘 다 낮은 압력으로 진공실에서 플라즈마 (plasma) 를 생성하여 더 나은 프로세스 제어 및 균일성을 달성합니다. 증착을 위해 8667-A에는 고급 진공 모델이 있습니다. 스퍼터 (Sputter) 대상은 회전 플랫폼에 장착되며, 여기서 최적의 재료 공급을 위해 각도와 위치를 조정할 수 있습니다. 또한 DC 모델에는 회전 기판 홀더가 포함됩니다. 이를 통해 기판 표면에 재료 공급을 최적화하고 증착 공정의 균일성 (uniformity) 과 반복 성 (repeatability) 을 높일 수 있습니다. 이 장비는 또한 프로세스 조건을 모니터링하는 자동 교정 시스템 (auto-calibration system) 과 같은 고급 기능을 가지고 있으며, 퇴적된 필름 내에서 필름 두께, 컨덕턴스 및 스트레스를 조정하는 데 사용할 수 있습니다. 이렇게 하면 직접 또는 원격 모니터링을 사용하여 최고 품질의 필름을 확인할 수 있습니다. 이 장치에는 대상 매핑 머신 (target mapping machine) 도 있으며, 이는 대형 기판에 균일 한 필름 두께와 분포를 보장하는 데 도움이됩니다. 이 도구는 저온 (low temperature) 과 저전압 (low voltage) 이 필요한 응용 프로그램에 이상적이며 단일 실행에서 여러 프로세스를 수행할 수 있습니다. 통합 제어 자산 (Integrated Control Asset) 은 실시간 모델 제어를 허용하며, 수동 또는 자동 모드에서 장비를 작동시킬 수 있습니다. 또한 효율적인 데이터 저장 및 검색이 가능합니다. 전반적으로 MRC 8667-A는 강력하고 다양한 스퍼터링 장비입니다. 증착 (deposition) 의 품질과 반복성을 높이고 증착 (deposition) 과정을 보다 효과적으로 제어하는 고급 기능이 있습니다. 운영 편의성, 운영 비용 저하 등으로, 이 시스템은 다양한 증착 (deposition) 요건에 이상적인 선택입니다.