판매용 중고 MRC 8260 #9255081

MRC 8260 (MRC 8260) 은 다양한 박막 응용 프로그램에 대한 증착 결과를 개선하는 고성능 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템에는 DC 스퍼터링과 비교할 때 우수한 증착률과 균일성을 제공하는 RF 다이오드 스퍼터링 소스가 장착되어 있습니다. 게다가, 2 개의 스퍼터링 소스를 독립적으로 작동시키고, 전원 입력을 정확하게 제어할 수 있으므로, 레이어 두께와 조성을 더 잘 제어할 수 있습니다. 이것은 특히 다층 박막을 입금하는 데 관련이 있습니다. 8260 스퍼터링 장치 (sputtering unit) 는 또한 우수한 증착 결과를 얻는 데 도움이되는 여러 가지 통합 된 기능을 제공합니다. 편리한 Open-LoadLock 설계를 통해 빠르고 쉽게 구성 가능한 프로세스 챔버를 갖추고 있어 샘플 로드를 신속하게 수행할 수 있습니다. 공정 환경에는 스퍼터링 챔버에서 오염 물질 축적을 줄이는 저압 플라즈마 발전기 (low-pressure plasma generator) 가 있습니다. 또한이 기계는 기본 압력 및 가스 흐름의 현장 제어를 특징으로합니다. 증착 과정을 정확하게 제어하기 위해 MRC-MRC 8260에는 강력한 Process Controller가 포함되어 있습니다. 이 기능을 사용하면 챔버의 온도 및 압력을 실시간으로 모니터링하고 조정할 수 있습니다. 또한, 컨트롤러는 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 제공하여 공구의 매개변수를 작동하고 제어합니다. 여기에는 각 8 개의 프로세스 단계로 최대 6 개의 운영 레시피를 구성하는 기능이 포함됩니다. 다양한 기능과 제어 옵션을 갖춘 8260은 안정적이고 고품질의 증착 결과를 제공합니다. 질화물, 귀금속, 탄소 및 산화물과 같은 물질의 스퍼터 코팅에 적합합니다. 또한, 자산은 유전체의 박막 증착, 반도체, 금속 및 생체 호환 물질과 같은 정밀 응용에 이상적입니다. 전반적으로, MRC-MRC 8260은 오늘날의 박막 증착 요구 사항을 충족시키기 위해 설계된 견고하고 신뢰할 수있는 스퍼터링 모델입니다. 다양한 업종과 어플리케이션에 대한 탁월한 프로세스 제어, 뛰어난 반복성, 탁월한 증착 결과를 제공합니다 (영문).