판매용 중고 MRC 822 #293604301

MRC 822는 기판에 재료를 스퍼터링하기위한 고성능 증착 장비입니다. "반도체 '산업 에 사용 하도록 설계 된 첨단 장비 로서, 생산량 이 높은 양전하 (positive charge carrier) 와 음전하 (negative charge carrier) 를 모두 증착 할 수 있다. 시스템에는 4 개의 활성 스퍼터링 건이 있으며, 이는 다중 계층 증착을 가능하게하도록 구성 될 수 있습니다. 챔버 (Chamber) 는 스테인레스 스틸로 구성되어 최대 1.0 x 10-6 토르의 진공 고정 인클로저를 제공합니다. 방향은 수평이며 작동 직경은 300mm입니다. 사용이 쉽고 직관적인 탐색 장치가 있는 GUI (Graphical User Interface) 를 사용하여 제어합니다. 이 기계는 수동 (manual), 반자동 (semi-automatic) 및 완전 자동 (fully automatic) 모드에서 작동할 수 있으며, 필요에 따라 배치 매개변수를 구성하고 제어할 수 있습니다. 기판의 위치를 조정할 수 있으며, x 축과 y 축을 모두 이동할 수 있습니다. 스퍼터링 (sputtered) 중인 재료의 온도는 증착 과정에서 모니터링되고 미리 정의 된 범위 내에서 정확하게 유지 될 수있다. 822는 최대 압력 1.0 torr의 고압 차원에서 작동합니다. 기판에 재료를 균일 하게 증착시키기 위해 스퍼터링 건 (Sputtering Gun) 을 구성하고 각도 (Angled) 하여 균일 한 스퍼터링 환경을 만듭니다. 이것은 충전 효과로 인해 기판의 변형 위험을 줄이는 데 도움이됩니다. MRC 822 (MRC 822) 는 안정적인 작동과 우수한 스퍼터링 수율을 제공하며, 실리콘 웨이퍼, 기판 및 기타 엔지니어링 및 과학 재료에 물질을 스퍼터 증착시키는 데 적합합니다. 마이크로일렉트로닉스 (microelectronics), 광전자 (photovoltaics), 마이크로광학 (micro-optics) 과 같은 고급 반도체 장치의 증착에 이상적입니다.