판매용 중고 MRC 693 #9179537

MRC 693은 플라즈마 강화 증착 공정을 위해 설계된 소형 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 3 구역 스퍼터링 시스템으로, 통합 된 대피 전 챔버가있는 턴오버 로드 록을 갖추고 있습니다. 이 장치는 용도에 맞는 벨로우 어셈블리를 갖춘 표준 300mm (12 인치) 기판 홀더를 사용하며 직경이 최대 114mm (4.5 인치) 인 최대 8 개의 대상을 지원할 수 있습니다. 소형 공정 챔버에는 400S Series Sputter 전원 공급 장치와 높은 증착 제어 및 기판 균일성을 위해 설계된 ICP RF (Radio Frequency) 전원 공급 장치가 장착되어 있습니다. 이 챔버에는 원통형, 기울기 가능한 진공 중 로드 잠금 장치 (out-of-vacuum load lock) 가 있어 기판 적재 및 언로드를 쉽게 수행하여 주기 시간을 줄일 수 있습니다. 693의 기본 압력은 선형 모션 o-ring seal machine 및 통합 냉각 및 난방 시스템 덕분에 매우 안정적입니다. 가스 가공 도구에는 입구 냉각 자산과 가스 순환 모델이 포함됩니다. 1 차 진공 펌프 인 터보 분자 펌프 (turbo-molecular pump) 는 장비가 터보 속도 2,700 l/s로 10 ^ -7 Torr의 작동 압력 범위를 달성 할 수 있습니다. MRC 693은 매우 직관적인 사용자 인터페이스를 사용하여 제어하고 모니터링합니다. 즉, 사용자는 운영 매개변수를 사용자 정의하고 자동화하고 프로세스를 효율적으로 최적화할 수 있습니다. 터치 스크린 기반 인터페이스는 또한 스퍼터링 전원, 증착률 및 RF 전원에 대한 정확한 조정이 가능합니다. 지능형 피드 백 제어 루프 (feed-back control loop) 는 시스템이 높은 정확성과 반복성으로 실행되도록 합니다. 안전 측정으로, 이 장치는 원치 않는 X 선으로부터 보호하는 2 층의 강철 캐비닛에 보관됩니다. 이 기계는 비상 종결 (Emergency Shutdown) 시 장치의 모든 전원을 차단하는 안전 스위치 (Safety Switch) 도 장착되어 있습니다. 결론적으로 693은 매우 다재다능하고 에너지 효율적인 스퍼터링 도구입니다. 안정성과 직관적인 제어로 다양한 스퍼터링 프로세스에 완벽한 선택이 가능합니다.