판매용 중고 MRC 662 #9265336

MRC 662 (MRC 662) 는 광범위한 연구 및 산업 응용을 위해 설계된 강력하고 유연한 스퍼터 증착 시스템입니다. 초고정밀 박막 및 금속 코팅을 위해 설계된 소형 진공 공정 챔버입니다. "스퍼터링 '과정 중 에 퇴적 된 물질 의 산화 를 피하기 위하여 저압 상태 로" 챔버' 를 유지 한다. 이 시스템은 강력한 이온 폭격과 균일 한 스퍼터 증착을 결합한 아크 형 음극을 사용합니다. 이것은 코팅의 우수한 균일성을 제공하면서 높은 증착률을 가능하게합니다. 챔버는 8 개의 RF 안테나 원형 패턴을 가진 멀티 램프, 모든 쿼츠 구조입니다. 유연성을 극대화하기 위해 설계된, 조정 가능한 프로세스 엔클로저로 프로세스 균일성을 제공합니다. 조절 가능한 공동 송풍기는 낮은 2 차 전자 방출 및 증착 균질성을 보장합니다. 챔버에는 독립적 인 리프트 및 회전을 갖춘 통합 이동 가능한 목표 포지셔너가 있습니다. 이를 통해 진공을 깨지 않고 다양한 대상을 레시피 제어를 할 수 있습니다. 다른 기능으로는 프로세스 매개변수 (process parameters) 를 모니터링하기 위한 통합 측정 및 진단 모듈 (diagnostics module) 과 샘플 전송을 위한 완전 자동화 로봇 이젝터 (fully automated robotic ejector) 가 있습니다. 662 에는 내부 및 외부 전극 제작을 가능하게 하는 액세스 포트도 포함되어 있으며, 우수한 레이저 마킹 기능을 제공합니다. 또한 다양한 코팅 (coating) 및 표면 처리를 위해 많은 가스 컨트롤러와 호환됩니다. 전반적으로, MRC 662 자동 스퍼터 증착 시스템은 광범위한 박막 증착 응용을위한 최적의 선택입니다. 연구 및 산업 응용을위한 강력하면서도 매우 정확한 박막 및 금속 코팅을 제공합니다. 강력한 기능으로는 균일성을위한 조절 가능한 공정 챔버, 이동식 대상 포지셔너, 통합 진단 모듈, 샘플 전송을위한 로봇 이젝터 등이 있습니다. 그 유연성과 편의성은 코팅 (coating) 프로세스를 개선하려는 모든 연구원이나 제조업체에 이상적인 선택입니다.