판매용 중고 MRC 662 #9248464

MRC 662는 Speion Technologies의 최첨단 고성능 스퍼터링 장비입니다. 이 "스퍼터링 '은 여러 가지 금속 과 유전체 물질 을 대형 기판 에 자동화 하고, 정확 하고, 효율적 으로 분출 하도록 설계 되었다. 이 제품은 재료, 프로세스, 구성에서 다용도가 높은 모듈식 설계를 제공합니다. 662의 가공소재 챔버의 직경은 400mm, 높이는 200mm입니다. 스퍼터링 중에 가공소재를 보관하기 위해 20MHz 발전기로 작동하는 2 개의 정전기 척 (electrostatic chuck) 이 장착되어 있습니다. 챔버는 진공 부하를 최대 5.33x10 ^ -7 Torr까지 견딜 수 있으며 150 ~ 420 ° C의 온도를 처리할 수 있습니다. 가공소재 챔버의 턴테이블 디자인은 균일 한 움직임을 허용하고 전극은 정확한 스퍼터링 증착을 위해 3 축으로 이동합니다. MRC 662는 마그네트론 스퍼터링, 직류 및 무선 주파수 스퍼터링, 차동 스퍼터링 등 다양한 스퍼터링 프로세스를 제공합니다. 최고의 정확성과 반복성을 위해 스퍼터링 시스템은 디지털 두께 컨트롤러 (digital thickness controller) 와 프로세스 모니터링 기능을 갖추고 있습니다. 또한 사용자는 한 주기로 최대 8 개의 스퍼터링 작업을 프로그래밍 할 수 있습니다. 통합 장치에는 스퍼터링 프로세스 (sputtering process) 동안 스퍼터 가스 흐름을 모니터링하고 제어하는 프로그래밍 가능한 가스 전달 머신 (gas delivery machine) 이 있습니다. 자동, 무선 주파수 전원 미디어 중복 제거 및 기판 청소 도구도 포함됩니다. 또한, 662는 전면 및 후면 인터록, 긴급 정지 버튼, 화재 경보 자산 등 다양한 안전 기능을 제공합니다. 스퍼터링 모델은 RF 차폐를 통합하여 인근 전자 제품과의 간섭을 제거합니다. 전반적으로, 스피온 테크놀로지스 (Speion Technologies) 의 MRC 662 스퍼터링 장비는 넓은 지역 기판에서 금속 및 유전체의 균일, 반복 가능 및 정밀 필름을 달성하기위한 완벽한 도구입니다. 다재다능하고 자동화된 시스템은 안전 (Safety) 기능과 편의성을 염두에 두고 설계되었으며, 고정밀 스퍼터링 (Sputtering) 요구 사항에 이상적인 제품입니다.