판매용 중고 MRC 643 #9303325

MRC 643은 MRC (Material Research Corporation) 가 설계 한 최첨단 스퍼터 증착 장비입니다. 이 시스템은 분당 최대 100 나노 미터 (100 나노 미터) 의 속도로 다양한 재료의 여러 필름을 배치 할 수 있으며 최대 챔버 크기는 450x450x 450mm입니다. 643 은 오늘날 시판 되고 있는 가장 다양 한 "스퍼터 '증착 장치 중 하나 이며, 여러 가지 재료 의" 필름' 을 증착 할 수 있다. MRC 643은 다양한 응용 분야에 적합하며, MIG (metal inert gas) 코팅, 광학 코팅, 태양 전지, LCD 및 반도체 장치와 같은 여러 가지 표면 엔지니어링 및 박막 응용 분야에 필름을 입금하는 데 사용될 수 있습니다. 이 장치에는 온도 조절 (temperature control) 및 프로세스 제어 (process control) 와 같은 다양한 프로그래밍 가능한 매개변수가 포함되어 있어 매번 고품질 증착을 보장합니다. 이 기계에는 400kHz 전원 공급 장치가 장착되어 있으며, 고전압을 공급하여 분당 100 나노미터 이상의 최대 증착율을 달성 할 수 있습니다. 이 도구에는 컨트롤러, 부동 기판 홀더, 가스 배달 자산 및 냉각 모델도 포함됩니다. 또한 ASH (Auto-Equipment Calibration Helper) 프로그램을 사용하여 시스템이 최적의 수준에서 작동하는지 확인할 수 있습니다. 643 은 메인 컨트롤러, 전원 공급 장치 제어 보드, 2 개의 독립 프로세스 챔버 등 메인프레임으로 구성됩니다. 2 개의 공정 챔버는 독립적 인 제어를 특징으로하여 병렬 증착 공정 (parallel deposition process) 이나 공동 증착 공정 (co-deposition process) 에 사용할 수 있습니다. MRC 643 장치에는 챔버 인터 록 (chamber interlock), 벤트 머신, 퍼징 기능 및 열 런 어웨이 보호 (thermal runaway protection) 와 같은 여러 안전 기능도 있습니다. 643은 신뢰할 수 있고, 다양하며, 비용 효율적인 스퍼터 (sputter) 증착 도구이며, 고객의 최고 선택 스퍼터링 자산으로 입증되었습니다. 이 모델은 필름 증착 매개변수와 뛰어난 재생성을 정확하게 제어합니다. 박막 증착 또는 MIG (Metal Inert Gas) 코팅을 찾고 있는지 여부, MRC 643은 요구 사항을 충족하도록 사용자 정의 할 수 있습니다.