판매용 중고 MRC 643 #9227515

MRC 643은 MRC (Mechanochem Research Corportion) 회사에서 제조 한 스퍼터링 장비입니다. 특히 연구 및 산업 응용 분야 (research and industrial applications) 를 위해 설계된 이 시스템은 다양한 재료를 기판에 스퍼터링 할 수 있습니다. 643 장치에는 전원 공급 장치, 공정 챔버, 대상 스퍼터링 건 및 기판 홀더가 포함됩니다. 전원 공급 장치는 대상 스퍼터링 건 (sputtering gun) 에 전원을 공급하는 데 사용되며, DC 및 RF 스퍼터링 프로세스를 모두 수용할 수 있는 유연성을 제공합니다. 공정 챔버 (process chamber) 는 다양한 증착 물질에 대한 최적의 스퍼터링 조건을 제공하도록 설계되어 필름 균일성 (film unifority) 및 반복 성을 보장합니다. 표적 스퍼터링 건 (sputtering gun) 은 낮은 1 차 전자 에너지를 사용하여 플라즈마 손상 및 관련 충전 효과를 최소화합니다. 기판 홀더를 조정할 수 있으므로 프로세스를 보다 효과적으로 제어할 수 있습니다. MRC 643 기계는 또한 반복성과 유연성을위한 로봇 가공소재 처리 도구를 갖추고 있습니다. 자동 샘플 장착 및 마운팅 해제를위한 고정밀 로봇 암 (high-precision robotic arm) 이 특징이며, 다양한 기판 크기를 수용 할 수있는 유연성을 제공합니다. 로봇 에셋은 정확한 위치 지정, 정확한 기판 온도 제어 기능을 제공하여 필름 품질을 최적화합니다. 643 모델에는 스퍼터링 (sputtering) 증착시 필름 밀도와 프로파일의 균일성을 보장하도록 설계된 고급 멀티 존 (multi-zone) 가스 전달 장비가 장착되어 있습니다. 가스 전달 시스템은 최대 4 개의 가스를 동시에 처리 할 수있는 유연성을 제공하며, 성능 최적화를 위해 압력 제어 장치 (Pressure Control Unit) 및 가스 흐름 조절 메커니즘을 통합합니다. 또한 MRC 643 머신 (MRC 643 Machine) 은 사용자가 매우 최적화된 프로세스 환경을 제공하며, 스퍼터링 프로세스의 매개변수를 적극적으로 모니터링하는 고급 진단/제어 도구를 제공합니다. 내장 컴퓨터 자산을 사용하여 모델 프로세스 (온도, 압력, 전력) 를 모니터링하여 일관된 스퍼터링 결과를 얻을 수 있습니다. 장비는 쉽게 작동할 수 있도록 대화식 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 제공합니다. 전체적으로, 643은 안정적이고 사용하기 쉬운 스퍼터링 시스템으로, 뛰어난 프로세스 안정성과 스퍼터링 증착 공정을 정확하게 제어합니다. 이 장치는 사용자 친화적 인 운영을 제공하며, 산업, 연구 및 개발 애플리케이션에 적합합니다.