판매용 중고 MRC 643 #9206604

MRC 643은 장기적인, 높은 처리량, 정확한 박막 증착을 위해 설계된 고성능 스퍼터링 장비입니다. 고출력 RF 발전기가 지원하는 여러 개의 대상 펌프 마그네트론 스퍼터링 헤드 (magnetron sputtering head) 를 사용하여 균일 한 코팅 및 레이어 두께를 월등히 제어합니다. 이 시스템은 독점적 인 고급 필름 성장 엔진을 사용하여 최고의 목표 활용도 및 증착 필름 균질성을 보장하며, 사용자 친화적 인 GUI (Graphical User Interface) 와 함께 사용하기 쉽습니다. 이 장치의 스퍼터링 챔버 (Sputtering Chamber) 에는 안쪽으로 쉽게 접근 할 수있는 상부 아이 볼트 (Eye-Bolt) 네트워크와 향상된 처리율을 위한 로드 잠금 (Load-Lock) 이 장착되어 있습니다. 챔버의 하부 부분은 2 개의 개별 챔버 (하나는 최대 330 C로 가열되고 다른 하나는 건식 에칭을 위해 설계 됨) 로 구성되며, 최대 2 개의 개별 기판 웨이퍼로 적재 할 수 있습니다. 또한, 챔버는 직경이 최대 200mm인 기판을 수용 할 수 있습니다. 이 기계에는 추가 온도 조절이 가능한 강력한 냉각 회로가 포함되어 있으며, 기판 온도가 100 ° C까지 낮아집니다. PWM (Pulse-Width Modulated) DC-DC 변환기에는 GUI에 의해 제어되는 개별 제어 대상이 있습니다. 모든 배치 매개변수는 GUI의 자동 기록 유지 도구 (record-keeping tool) 에 의해 수집 및 저장됩니다. 다중 대상 스퍼터 (sputter) 가 활성화 한 초고속 증착율을 제외하고, 이 자산은 모든 스퍼터링 각도에서 뛰어난 필름 균일성을 제공합니다. 결함 포함 (Defect Inclusion) 과 타의 추종을 불허하는 필름 특성을 가진 결과의 높은 반복성과 재현성을 가지고 있습니다. 또한 광범위한 화학량 측정법 (stoichiometries) 을 제공하며, 다양한 증착 요구 사항에 맞게 간단하고 빠르게 설정할 수 있습니다. 전반적으로, 643 개의 스퍼터링 모델은 특히 정확도와 속도가 핵심 인 경우, 박막 증착을위한 널리 활용 된 도구가되었습니다. 균일 한 코팅 (coating) 및 레이어 두께 (layer thickness) 에 대한 탁월한 제어를 제공하여 광범위한 어플리케이션을 위한 안정적이고 고성능 필름을 만들 수 있습니다.