판매용 중고 MRC 643 #9008358

MRC 643은 박막 증착을 위해 설계된 최첨단 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 강력한 IAD (ion-assisted deposition) 방법을 사용하여 균일 한 두께와 낮은 표면 거칠기로 필름을 입금합니다. 전원 공급 장치는 최대 1000 와트의 전력을 공급할 수 있으며, 다양한 유형의 이온을 생성 할 수 있습니다. 643은 면적당 180 밀리암페어 (mA) 의 전류를 제공 할 수 있으며, 더 두꺼운 층의 고성능 필름을 만들 수 있습니다. 기판 보유자는 스퍼터링 중에 균일 한 증착을 보장하기 위해 혁신적인 히터를 갖추고 있습니다. MRC 643의 다목적 증착 성분은 금속, 실리케이트, 산화물 등 다양한 유형의 필름을 증착 할 수있다. 이 장치에는 굴삭기 (excavator), 대상 홀더 (target holder) 및 RF 소스 (source) 가 장착되어 있어 다양한 증착 매개변수 중에서 선택할 수 있습니다. 이 기계는 최대 1mTorr (1 x 10 ^ -3 Torr) 에서 최대 760 Torr까지 작동할 수 있으며 최대 전력은 1000W입니다. 또한 무접촉 도어 폐쇄 (Contactless Door Closing) 및 긴급 정지 (Emergency Stop) 위치를 갖춘 포괄적인 안전 프로토콜로 안정적이고 안전한 작동을 위해 설계되었습니다. 이 도구는 또한 뛰어난 이온 광학을 특징으로하며, 고성능 증착에 필요한 정확하고 균일 한 이온 폭격을 허용합니다. 643은 또한 높은 수준의 자동화를 통해 사용자가 기판 온도, 소스 파워, 가스 흐름, 압력 등 스퍼터링 매개 변수를 완전히 자동화 할 수 있습니다. 다른 기능으로는 디지털 컨트롤 콘솔 (digital control console) 이 있습니다. 박막 증착을 모니터링하는 박막 현미경; 그리고 초고진공 생성을위한 다공성 이온 펌프. MRC 643은 다양한 크기, 모양, 재료 샘플을 포함하여 여러 가지 사용 사례를 위해 설계되었습니다. 또한 평면 패널 디스플레이, 박막 태양 전지, 박막 전기 발광 장치, 기타 많은 마이크로 및 나노 재료 응용 프로그램 등 다양한 박막 증착 응용 프로그램에도 적합합니다. 결론적으로, 643 개의 스퍼터링 자산은 균일성과 재생성이 뛰어난 박막 제작에 이상적인 도구입니다.