판매용 중고 MRC 643 #83146

MRC 643은 물리적 증기 증착 (PVD) 을 통해 박막을 입금하도록 설계된 멀티 챔버 스퍼터링 장비입니다. 이 고급 증착 시스템은 다양한 고객에게 안정적이고 재현 가능한 PVD 프로세스를 제공합니다. 643에는 6 개의 공정 챔버가 있습니다: 3 개의 하중 잠금, 전사 챔버, 하중 챔버 및 생산 챔버. 스테인리스 스틸 (stainless steel) 과 아노디 화 된 알루미늄 (anodized aluminum) 의 특수 합금 구조는 뛰어난 증착 결과를 지원하기 위해 매우 내구성과 일관된 챔버 벽 표면을 제공합니다. 이 장치에는 또한 고유한 액티브 캐비티 펌핑 (active cavity pumping) 기술이 포함되어 있어 다양한 애플리케이션에서 빠르고 효율적인 프로세스를 수행할 수 있습니다. 이 비활성, 초고진공기는 터보 분자 펌프 (turbo molecular pump) 및 확산 펌프 (diffusion pump) 와 같은 5 개의 별도의 진공 펌프를 결합하여 각각의 프로세스의 압력을 정확성, 안정성 및 마음의 평화를 제어합니다. 6 개의 챔버 모두 분리되어, 압력과 진공을 유지하면서 청소하고, 정확하게 처리 할 수 있습니다. 로드 챔버 (Load Chamber) 와 전송 챔버 (Transfer Chamber) 도 로드 락이 있으므로 로드 챔버 (Load Chamber) 를 사용하는 동안에도 다른 프로세스가 수행됩니다. 생산 챔버에는 다양한 프로세스 기술 구성 요소가 장착되어 있습니다. 아크 오버를 유발하지 않고 동력을 빠르게 증가시키도록 설계된 40kW 커패시브 결합 RF (13.56MHz) 발전기가 있습니다. 높은 전력 수준을 생성하기 위해 2 개의 20 "스퍼터 전원 공급 장치와 낮은 전력 및 스퍼터 청소를위한 2" 소스가 있습니다. 18-target, 4 "클러스터 도구는 다중 리에 (RIE) 및 물리적 증기 증착 (PVD) 기능과 함께 다양한 응용 프로그램에 유연성을 제공합니다. MRC 643의 독점 디자인은 스퍼터링 도구의 복잡성을 줄입니다. 소스의 정렬 (Alignation) 과 단일 지점에서 소스를 제어하는 기능은 유지 관리 (Maintenance) 및 작업 (Operation) 절차를 단순화합니다. 전체 자산은 기존 생산 설비에 쉽게 통합할 수 있으며, 생산성과 효율성을 향상시키는 데 도움이 됩니다. 요약하자면, 643은 PVD (physical vapor deposition) 를 통해 박막을 입금하도록 설계된 고성능 멀티 챔버 스퍼터링 모델입니다. 6 개의 챔버, 40kW RF 발전기, 2 개의 20 "스퍼터 전원 공급 장치, 2 개의 반응성 이온 에칭 (RIE) 및 물리적 증착 (PVD) 기능을 갖춘 다양한 어플리케이션에 적합합니다. 또한, 액티브 캐비티 펌핑 (active cavity pumping) 기술은 빠르고 효율적인 프로세스를 보장하는 반면, 독점 설계는 유지 보수 및 운영 절차를 단순화합니다. 이 고급 증착 장비의 모든 기능을 사용하면 안정성이 높고 재현이 가능합니다.