판매용 중고 MRC 643 #293810159

MRC 643은 최대 643mm x 1073mm (25.3 "x 42.3") 의 기판 크기를 처리하도록 설계된 고급 직사각형 마그네트론 스퍼터링 장비입니다. 이 다용도 도구는 고속 생산 증착을 위해 설계되었으며, 최대 4 개의 공정 챔버를 위해 여러 대상을 수용합니다. 또한 각 챔버에 듀얼 플로팅 암 트랜스포터 (Dual Floating Arm Transporter) 와 완전 챔버 제어를 위해 3 개의 독립 컨트롤러 (Independent Controller) 를 사용하여 정교한 내부 샘플 전송 시스템을 갖추고 있습니다. 스퍼터링 유닛은 강력한 전자석과 고출력 RFcompact 소스를 사용하여 공정 챔버에 집중된 플라즈마를 생성합니다. 그 결과 "스퍼터 에칭 '," 코우팅' 및 "필름 '증착 이 효율적 이 되어 표면 질 이 뛰어나고 오염 이 최소화 된다. 기판표 가 크고, 여러 개 의 표적 구성 으로 인해, 기계 는 금속, 합금, 세라믹, 유전체 등 매우 다양 한 물질 을 증착 할 수 있다. 643의 사용자 친화적, 고도로 자동화된 기능에는 직관적 인 소프트웨어 인터페이스 및 디지털화 된 컬러 코딩 챔버 사이클 타이머 (chamber cycle timer) 가 포함됩니다. 이 인터페이스를 통해 연산자는 프로세스 매개변수 (process parameters) 를 제어할 수 있으며 프로세스 설정, 온도, 압력 등에 대한 정확한 실시간 피드백을 제공합니다. 모든 공구 상태 (Tool Status) 및 프로세스 매개변수 (Process Parameter) 는 안전한 서버에 저장되어 정확성과 신뢰성을 보장합니다. 또한 기본 제공되는 자동 시작/중지 기능은 기판 로드 및 언로드를 자동으로 관리합니다. MRC 643 자산의 추가 기능에는 소형 스윙 암 오토 로더 및 업계 최고의 5 미크론 기판 정확도 등급이 포함됩니다. 이것은 여러 기판에서 일관된 정확성을 보장하고 최대 1 인치 두께의 웨이퍼를 제공합니다. 또한, 이 모델은 최적의 성능 및 호환성을 위해 다양한 표준 화학 물질을 수용합니다. 표준 패키지의 일부로, 643 은 장비에 내장된 강력한 안전 (Safety) 프로토콜과 함께 제공되어 인력과 장비를 최대한 보호할 수 있습니다. 결론적으로, MRC 643 스퍼터링 시스템은 기질 증착, 에칭 및 코팅을위한 효율적이고 신뢰할 수있는 도구입니다. 견고한 설계는 일관성 있는 품질과 정확성을 보장하는 반면, 대형 기판표 (Substrate Table) 와 다중 대상 지원 (Multiple Target Support) 은 높은 수준의 운영 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.