판매용 중고 MRC 643 #293775668
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MRC 643 (MRC 643) 은 다양한 연구 및 산업 응용 분야에서 박막 증착을위한 고급 기능을 제공하는 최첨단 스퍼터링 장비입니다. 이 다목적 시스템은 반도체, 광학, 자기 저장 (magnetic storage) 및 고급 재료 연구의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 정밀 제어 (precision control) 및 높은 처리량 (throughput) 기능을 갖춘 643을 통해 연구자와 엔지니어는 다양한 재료에 대해 뛰어난 박막 특성을 얻을 수 있습니다. MRC 643 스퍼터링 장치 (sputtering unit) 의 핵심은 마그네트론 스퍼터링 소스 (magnetron sputtering source) 로, 조성과 특성이 다른 박막을 증착하기위한 여러 대상 재료를 갖추고 있습니다. 마그네트론 스퍼터링 (magnetron sputtering) 과정은 고에너지 이온 (ion) 을 갖는 대상 물질의 폭격을 포함하며, 이는 얇은 필름을 형성하기 위해 기질에 침전하는 물질 원자의 분출이된다. 643 머신 (machine) 은 박막 증착에서 높은 균일성과 재생성을 위해 설계되었으며, 넓은 기판 영역에서 일관된 필름 품질을 보장합니다. MRC 643 툴 (MRC 643 Tool) 의 주요 기능 중 하나는 고급 제어 및 모니터링 기능으로, 사용자가 최적의 필름 특성을 위해 스퍼터링 프로세스 매개변수를 정확하게 조정할 수 있습니다. 에셋에는 증착률, 필름 두께, 기판 온도 등의 프로세스 매개변수에 대한 실시간 피드백을 제공하는 사용자에게 친숙한 인터페이스가 제공됩니다. 이를 통해 연구원들은 광학 코팅, 반도체 장치, 자기 저장 매체 (magnetic storage media) 와 같은 특정 박막 애플리케이션에 대한 스퍼터링 프로세스를 최적화 할 수 있습니다. 643 sputtering 모델은 또한 RF sputtering, DC sputtering 및 reactive sputtering을 포함한 다양한 증착 기술을 제공하여 사용자가 구성, 화학량 론자 및 형태에 대한 정확한 제어를 가진 박막을 증착 할 수 있습니다. 또한, 이 장비에는 필름 성장 및 속성을 실시간으로 모니터링하기 위해 쿼츠 크리스탈 모니터 (quartz crystal monitor) 및 광학 분광법 (optical spectroscopy) 과 같은 다양한 in-situ 진단 도구가 장착되어 있습니다. 기판 처리 측면에서, MRC 643 시스템은 소형 웨이퍼 샘플에서 넓은 영역 기판에 이르기까지 다양한 기판 크기와 모양을 지원하는 다재다능한 기판 홀더를 특징으로합니다. 이 장치에는 빠른 기판 교환을 위한 로드 잠금 (load-lock) 기능이 장착되어 있으며, 증착 실행 사이의 다운타임을 최소화하고 처리량이 많은 처리를 허용합니다. 643 스퍼터링 머신 (Sputtering Machine) 은 강력한 진공 구성 요소와 간편한 서비스 및 업그레이드 액세스를 지원하는 모듈식 설계 (Modular Design) 를 통해 안정성과 유지보수 편의성에 중점을 두고 설계되었습니다. 이 도구에는 안전 인터 록 (Safety Interlock) 과 모니터링 시스템 (Monitoring System) 이 장착되어 증착 과정의 안전한 운영을 보장합니다. 전반적으로, MRC 643 스퍼터링 자산은 정밀 제어, 고출력 처리, 광범위한 증착 기술을 위한 고급 기능으로, 박막 증착을 위한 강력한 도구입니다. 연구실, 산업생산시설, 학술기관 등에 사용되든, 643 개 모델은 연구자와 엔지니어에게 다양한 응용프로그램을 위한 고품질 박영화 (Thin Film) 를 구현하는 데 필요한 도구를 제공한다.
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