판매용 중고 MRC 643 #293758605

MRC 643은 기판에서 박막 증착을위한 가공 재료를위한 2 개의 음극, 2 개의 평면 마그네트론, 2 개의 전원 공급 장치 및 2 개의 진공 챔버로 구성된 반응성 직류 (DC) 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 탑로드 (top-loading), 3축 드라이브 메커니즘으로 설계되어 높은 처리량을 제공합니다. 이는 고급 광 자동화 도구를 사용하여 개선될 수 있습니다. 중앙 챔버 (center chamber) 는 일반적으로 스퍼터 소스를 포함하는 외부 챔버가있는 기판 홀더로 사용됩니다. 전력 공급, DC 마그네트론 스퍼터링은 강력한 자기장에 의해 생성되며, 이는 증착 과정의 균일성을 향상시킵니다. 마그네트론-음극 쌍은 압력을 정확하게 제어 할 수있는 챔버 (chamber) 에 배치된다. 약실의 통제 환경은 또한 프로세스를 안정적이고 안정적으로 유지합니다. MRC 663 유닛은 또한 챔버 벽의 스퍼터링 전 (pre-sputtering) 및 스퍼터링 후 (post-sputtering) 청소를위한 열성 방출을 특징으로하여 여러 층의 필름을 퇴적시키는 효과적인 도구입니다. 증착 중 "프로그램 '과" 램프' 시간 을 통하여 "필름 '의 원하는 대량 과 표면 특성 을 얻을 수 있다. 이 기계 는 효율적 이고 자동화 된 청소 과정 때문 에 "반도체 '제작 및 박막 증착 과 같은" 응용프로그램' 에 적합 하다. MRC 663 도구는 또한 압력 제어를 특징으로하며 금속, 합금, 산화물, 황화물 등 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. 자산의 압력 제어 (pressure control) 는 훨씬 더 통제 된 증착을 가능하게하여 공정의 정밀도와 정확도를 높입니다. 이러한 모든 기능을 통해 MRC 663 모델은 순전히 장식 응용 프로그램에서보다 복잡한 첨단 응용 분야에 이르기까지 모든 박막 증착 응용 프로그램에 대한 매력적인 선택이 됩니다.