판매용 중고 MRC 643 #193489

MRC 643은 MRC Ltd가 설계 한 다목적 스퍼터링 장비입니다. 이중 소스 마그네트론 DC (magnetron DC) 전원 공급 장치를 사용하여 금속 또는 산화물을 기판에 입금하여 광범위한 애플리케이션에 이상적입니다. 이 시스템은 또한 최대 800mm 너비의 결합 된 목표 면적을 가진 3 개의 독립적 인 목표물 (independent target) 을 제공하며, 최대 6 "의 웨이퍼를 수용 할 수 있으며 직경이 최대 200mm입니다. 643 단위는 생산성이 높기 위해 단일 (single) 과 다중 (multiple) 목표를 동시에 스퍼터링할 수 있으며, 다층 필름도 증착할 수 있습니다. 이 기계는 또한 DC 전압, 가스 제어, 챔버 온도와 같은 프로그래밍 가능한 매개변수가있는 포괄적 인 공정 제어 장치를 갖추고 있습니다. 또한, 이 툴을 사용하면 각 애플리케이션의 특정 요구 사항을 충족할 수 있도록 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 쉽게 조정할 수 있습니다. 안전성 및 신뢰성 측면에서, MRC 643은 내장 제어 자산 및 20 요소 가스 모니터링 모델을 포함한 여러 안전 기능으로 설계되었습니다. 이 장비에는 트리플 디스플레이 모니터 (Triple Display Monitor) 와 운영자에게 오작동 또는 심각한 조건에 경고하는 일련의 경고 표시등 (Warning Light) 도 포함됩니다. 643 은 매우 효율적이고 견고한 시스템으로, 광범위한 스퍼터링 (sputtering) 증착 환경에 적합합니다. 고급 안전 기능, 다중 스퍼터링 대상 (sputtering target) 및 복잡한 층을 증착 할 수있는 능력으로, 이 장치는 박막 태양 전지, 생체 물질 코팅, 집적 회로 코팅과 같은 응용 분야에 적합합니다. 또한, 제어 장치 (Control Unit) 와 조정 가능한 프로세스 매개변수 (Adjustable Process Parameter) 를 사용하여 기계는 다양한 응용 프로그램에 대해 쉽고 정확하게 여러 재료를 처리 할 수 있습니다.