판매용 중고 MRC 603 #9388783

MRC 603 (MRC 603) 은 스퍼터링 장비 유형으로, 얇은 층의 재료로 표면을 코팅하는 데 사용됩니다. 이 시스템은 기판 보호, 반사 서피스 생성, 전도성 레이어 배치 (depositing conductive layer) 등 다양한 응용 프로그램에 사용될 수있는 다목적 시스템입니다. 이 장치에는 벨 항아리 진공실 (bell jar vacuum chamber) 이 장착되어 있으며, 스퍼터링 프로세스를위한 깨끗한 환경을 제공합니다. "자석 '의 내부 에는" 이온' 화 된 "가스 '를 생성 하는 자석 이 있는데, 그" 가스' 는 물질 표면 을 "스퍼터링 '의 표적 으로 폭격 하는 데 사용 된다. 공정 중 에, 재료 는 표적 에서 기판 으로 옮겨지며, 그 기판 은 표면 에 얇은 "필름 '을 남긴다. 603은 스퍼터링 프로세스에 필요한 전원을 공급하는 DC 전원 공급 장치를 사용하여 작동합니다. 전원 공급 장치 를 조정 하여 각기 다른 증착률 을 제공 할 수 있으며, 따라서 "필름 '두께 와 조성량 을 조정 할 수 있다. 이 기계는 또한 평균 필라멘트 전류 모니터 (filament current monitor) 와 가스 흐름 컨트롤러 (gas flow controller) 를 갖추고 있어 정확하고 일관된 코팅 결과를 보장합니다. MRC 603 (MRC 603) 의 독특한 특징 중 하나는 내장형 규정 준수 전압 툴로, 특정한 증착 조건에 필요한 전압으로 자산을 조정할 수 있습니다. 또한 스퍼터링 (sputtering) 에 사용되는 가스의 온도, 압력 및 조성을 제어하기위한 통합 컨트롤러가 있습니다. 이 모델에는 지원 네트워크도 포함되어 있으며, 운영자는 운영 매개변수 (예: 압력, 온도, 전원 수준) 를 원격으로 변경할 수 있습니다. 603에는 진공 이륙, RF 생성기, 웨이퍼 로딩 및 언로드, 가스 믹서/조절기 등 향상된 장비 제어를 위해 다양한 액세서리가 제공됩니다. 이것은 매우 다양한 장비로, 많은 다른 스퍼터링 응용 프로그램에 이상적입니다. 결론적으로, MRC 603은 매우 정교하고 다목적 인 스퍼터링 시스템으로, 광범위한 박막 코팅을 생산할 수 있습니다. 규정 준수 전압 장치 (Compliance Voltage Unit) 와 다양한 액세서리 (Accessory) 는 다양한 코팅 어플리케이션에 적합한 선택입니다.