판매용 중고 MRC 603 #9286006

MRC 603은 대규모 박막 재료 생산을 위해 특별히 설계된 고성능 스퍼터링 장비입니다. 이 내장형 챔버는 태양 전지 생산, 유연한 OLED 장치, 평면 패널 디스플레이와 같은 어플리케이션에 적합합니다. 이 시스템은 컴팩트하고 컴팩트한 스퍼터 소스, 최대 160도 스캐닝 범위의 전동 회전 대상 스캐너, 조정 가능한 전원 및 프로그래밍 가능한 설정 점이있는 RF/DC 전원 공급 장치, 기판 히터, 온도 컨트롤러 및 가스 분배 매니 폴드로 구성됩니다. 고출력 RF/DC 전원 공급 장치를 사용하면 기판에 높은 증착율과 균일 한 스퍼터 증착이 가능합니다. 전동 회전 대상 스캐너 (Motorized Rotational Target Scanner) 를 사용하면 증착 영역을 정확하게 제어할 수 있으며 다양한 맞춤형 기판 크기 구성을 제공합니다. 또한, 온도 제어기 및 기판 히터는 균일 한 온도 분포를 보장하며, 더 높은 품질, 더 균일 한 필름 증착을 가능하게한다. 603은 혁신적인 터보 기반 설계, 견고한 가스 봉인, 고품질 모듈식 (modular) 부품을 갖춘 잘 설계된 진공 장치를 갖추고 있습니다. 이를 통해 10E-7 ~ 1000 밀리토리의 공정 챔버 압력 범위가 가능하며, 고속 펌프 다운 사이클 시간이 있습니다. 이 기계에는 신뢰할 수있는 질량 흐름 컨트롤러 (Mass Flow Controller) 가 포함되어 있어 정확한 가스 흐름 및 압력 조절이 보장됩니다. 직관적인 사용자 친화적 터치스크린 (Touch Screen) 도구 - 매개변수를 손쉽게 프로그래밍하고 조정할 수 있으며 여러 소스에서 레시피 설정과 전송이 가능합니다. 원격 진단 (Remote Diagnostic) 기능은 실시간 모니터링을 제공하며 프로세스 기술자가 프로세스 상태를 추적할 수 있도록 합니다. MRC 603 의 안정적이고 견고한 기계적 설계는 업계 최고의 표준 안전 프로토콜 (예: EMC 규정 준수) 을 준수합니다. 603 Sputtering Asset (Sputtering Asset) 은 무중단 업무 운영과 최소한의 유지 관리를 위해 설계되었으며, 안정적이고 뛰어난 성능을 자랑하는 603 Sputtering Asset 은 대규모 운영 실행에 탁월한 가치를 제공합니다.