판매용 중고 MRC 603 #9206603

MRC 603은 Materials Research Corporation에서 제조 및 판매 한 고성능 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 매우 매끄럽고, 높은 증착율, 등각 레이어 증착이 필요한 어플리케이션을 위해 특별히 설계되었습니다. 이 장치는 사전 청소 챔버, 고 진공 증착 챔버, 고압 가스 셉타, 전원 공급 장치, 진공 제어 모듈 등 여러 구성 요소로 구성됩니다. 기계의 사전 청소 챔버에는 고급 저압, 고강도 마이크로파 및 EUV 광원이 장착되어 있습니다. 이 챔버는 스퍼터링 증착 전에 기판 표면을 미리 청소하는 데 사용됩니다. 이것 은 표면 의 청결 함 과 퇴적 된 "필름 '의 접착 을 최적화 하는 데 도움 이 된다. 증착은 높은 진공 증착실에서 이루어지며, 이는 높은 진공 격막으로 봉인됩니다. in-situ 압력은 0.1 mtorr에서 20 torr로 조정할 수 있으며 공정 가스는 1 ~ 99% 로 조정되어 광범위한 압력 수준에서 필름을 증착 할 수 있습니다. 전원 공급 장치는 다양한 RF 전원 수준과 10 kHz ~ 5 MHz의 안정적인 주파수를 제공합니다. 스퍼터링 과정에서 기질이 회전하여 균일 한 필름 증착을 보장합니다. 아르곤 (Argon), 산소 (Oxygen) 및 질소 가스 (Nitrogen gase) 와 같은 다양한 증착 가스를 사용하여 원하는 금속 화 효과를 얻을 수 있습니다. 기본 대 고귀한 가스의 다른 비율을 적용하면 광범위한 증착률이 가능합니다. 진공 제어 모듈 (vacuum control module) 을 사용하면 증착 전체의 안정적인 염기압을 유지 관리할 수 있습니다. 603은 고품질 박막 증착을위한 이상적인 스퍼터링 도구입니다. 자산은 KOH 결정 및 석영 유리 (quartz glass) 에서 두꺼운 웨이퍼 및 회로 보드에 이르기까지 다양한 기판을 수용 할 수 있습니다. 이 모델은 또한 물리적 증기 증착, 화학 증기 증착, 스퍼터링, 마그네트론 스퍼터링 등 다양한 고성능 박막 기법에도 적합합니다. 마지막으로, 장비는 신뢰성이 높고 사용하기 쉽습니다. 과학계의 사람들에게 이상적인 선택입니다.