판매용 중고 MRC 603 #9194036

MRC 603은 Jelight Company Inc.에서 설계 한 고급 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 박막 증착에 대한 광범위한 연구 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 그것 은 "이온 '의 광선 방전 을 하여 표적 물질 을 폭격 하고, 표적 물질 을" 입자' 를 두드려 박막 을 만든다. 대상 재료에는 자기 재료, 유전체, 반도체 및 고 전도성 재료가 포함될 수 있습니다. 이 장치에는 2 개의 맞춤형 고진공 챔버가 있으며, 긴 수명 서비스와 뛰어난 가동 시간을 위해 견고하게 제작되었습니다. RF 구동 플라즈마 소스가 통합되어 이온 폭격 속도를 향상시킵니다. 최종 결과는 균일 하고 고품질 박막입니다. 이 기계에는 냉각 공구가 통합되어 있으며, 여러 프로세스를 실행하며, 미리 프로그래밍된 작업을 수행할 수 있습니다. 603 automated thin film deposition asset 은 사용이 간편한 사용자 친화적인 소프트웨어 인터페이스와 통합됩니다. 이 인터페이스는 자동 프로세스 최적화 (Automatic Process Optimization) 를 위한 직관적인 작업 프로그램과 특정 프로세스와 도구를 신속하게 구성하는 데 필요한 레시피를 저장하는 데이터베이스를 갖추고 있습니다. 레시피 구성은 간단하며, 몇 단계로 이루어질 수 있습니다. 모델은 두 가지 모드로 작동 할 수 있습니다. 수동 작업 또는 완전 자동화 작업 수동 (Manual) 모드에서는 그래픽 인터페이스 (Graphical Interface) 메뉴를 사용하여 작업을 진행하여 원하는 제품을 처리할 수 있습니다. 완전 자동화 (Fully Automated) 모드에서 프로세스는 순차적으로 최적화되어 후속 실행에서 최적의 증착을 위해 장비를 준비합니다. 시스템을 여러 도구로 구성하여 추가 자동화를 수행할 수 있습니다. 프로세스는 자동화되고 선형 모터 스테이지 (linear motor stage) 와 수평 샘플 홀더 (horizontal sample holder) 를 사용하여 검증됩니다. 또한, MRC 603은 외부 가스 라인에 연결되어 챔버로 지속적으로 가스 흐름을 제어 할 수 있습니다. 외부 가스 입자는 현장 입자 모니터링 시스템으로 모니터링 할 수 있습니다. 요약하면, 603 스퍼터링 장치는 박막 증착 요구를 위해 설계된 고급 도구입니다. 강력한 엔지니어링 설계, 견고한 구성, 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface), 자동화된 운영, 뛰어난 유연성 및 최적화를 위한 다양한 도구를 제공합니다.