판매용 중고 MRC 603 #9161023

MRC 603은 박막 증착에 사용되는 최첨단 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 자기 강화 된 반응성 스퍼터 증착 (MARS) 을 사용하여 우수한 동질성과 우수한 전기 및 광학 특성을 가진 박막을 증착합니다. 603에는 최대 5 가지 유형의 기판을 정확하게 포지셔닝하기 위해 3D 포지셔닝 기판 홀더가 장착되어 있습니다. 축 마그네트론과 결합 된 이 고급 기질 홀더 (advanced 기판 홀더) 는 각 스퍼터링 과정에서 균질 한 필름 성장을 제공한다. 스퍼터링 소스에는 증착률, 조성률, 응력 (stress) 등 다양한 프로세스 조건에 맞게 조정할 수있는 컴퓨터 제어 전원 수준도 있습니다. MRC 603에는 펄스 질량 흐름 컨트롤러 (pulsed mass flow controller) 와 가스 혼합을위한 여러 가스 라인을 사용하는 폐쇄 루프 가스 흐름 장치가 있습니다. 이 로 말미암아 "가스 '구성 과 순도 를 정확 히 제어 할 수 있게 되고, 또한 여러 가지 공정" 가스' 를 급속 히 순환 할 수 있게 된다. 가스 유동 기계에는 스퍼터 챔버 (Sputter Chamber) 의 가스 구성을 언제든지 모니터링하는 RTG (Real-Time Gas Monitoring) 도구가 장착되어 있습니다. 603 에는 사용자 (user) 와 자산을 보호하기 위해 설계된 다양한 안전 (safety) 기능도 있습니다. 여기에는 비상 정지 버튼, 과압 표시기, 안티 코로나 모델, 내장 가스 누출 감지 및 제거 시스템이 포함됩니다. 또한 MRC 603에는 광각 (wide-angle) 뷰 포트가 있어 스퍼터 챔버 (sputter chamber) 외부에서 프로세스를 관찰 할 수 있습니다. 이러 한 방법 은 약실 의 문 을 열지 않고도 편리 하게 증착 과정 을 감시 할 수 있게 해준다. "깨어라!" 또한 603 은 원격 제어 사용자 인터페이스 (remote-controlled user interface) 를 갖추고 있어 원격 위치에서 장비를 설치, 실행할 수 있습니다. 이렇게 하면 사용자 경험이 크게 향상되고, 사용자가 언제든지 배치 (deposition) 프로세스를 추적할 수 있습니다. 전반적으로 MRC 603 (MRC 603) 은 뛰어난 동질성과 우수한 전기 및 광학 특성을 가진 박막을 증착하기위한 다양한 기능을 제공하는 고급 스퍼터링 시스템입니다. 수많은 안전 기능, 정밀한 가스 믹싱, 원격 제어 사용자 인터페이스 (remote-controlled user interface) 를 갖춘 603은 광범위한 박막 증착 애플리케이션에 이상적인 스퍼터 장치입니다.