판매용 중고 MRC 603 #9082895

MRC 603은 다양한 전문 산업에서 사용하도록 설계된 스퍼터링 장비입니다. 이 "시스템 '은 금속" 필름' 을 기판 에 동시 증착 할 수 있는 여러 가지 구성 요소 로 구성 되어 있다. 주요 구성 요소는 R&D 스퍼터링 도구로, 트리오드 마그네트론 스타일 음극과 양극으로 구성됩니다. 음극에는 티타늄, 크롬 및 알루미늄 금속 도가니가 장착되어 있습니다. 금속은 스퍼터링 온도로 가열되어, 기질로 향하는 활기 넘치는 이온을 생성합니다. 스퍼터링 도구와 함께이 장치에는 증발기 콘 (cone) 과 진공 챔버 (vacuum chamber) 가 포함됩니다. 증발 원뿔은 실리콘 (silicon) 이나 산소 (oxygen) 와 같은 작은 비금속 화합물을 진공실로 가져 와서 기질로 증발시키는 데 사용됩니다. 진공실은 증착 속도를 높이기 위해 저압 환경 (low-pressure environment) 을 유지하는 데 사용됩니다. 603은 또한 스퍼터링 프로세스를 향상시키기 위해 여러 가지 기능을 자랑합니다. 음극 (anode) 은 음극 (cathode) 의 빠르고 느린 전원 공급 장치를 독립적으로 제어하도록 설계되어 증착률을 세밀하게 조정할 수 있습니다. 또한, 기계 에는 "마이크로레코딩 '압력" 게이지' 가 장착 되어 있어서 챔버 '내부 의 정밀 한 압력 조절 이 가능 하다. RF 생성기는 마그네트론 음극 (magnetron cathode) 에 전원을 채널로 연결하여 스퍼터링 속도를 향상시킵니다. 마지막으로, 박막의 증착률을 제어하기 위해 구성 가능한 셔터가 있습니다. MRC 603 (MRC 603) 은 다양한 재료와 조절 가능한 매개변수로 뛰어난 균일성과 반복성을 제공합니다. 이 도구는 대규모 생산 또는 다양한 기판에서 특수 코팅 (specialized coating) 을 달성하는 데 특히 유용합니다. 또한 전력 사용량이 적어 비용 효율적이고 환경 친화적 인 것으로 유명합니다. 이 모든 특징은 603을 다양한 산업에 이상적인 스퍼터링 자산으로 만듭니다.