판매용 중고 MRC 603 #293793111

MRC 603 (MRC 603) 은 나노 미터 규모로 얇은 층의 재료를 배치하는 데 사용되는 고성능 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 3 초점 자기장을 가진 멀티 대상 회전 음극을 사용하여 다양한 기판에서 스퍼터 속도, 균일 성, 균일 한 코팅 두께를 최대화합니다. 또한, 표적의 각도를 조정하여 스퍼터 레이트 (sputter rate) 및 균일성 매개변수를 최적화 할 수 있습니다. 최대 3 개의 스퍼터링 챔버를 지원할 수있는 603은 평면 패널 디스플레이, 자동차 유리 및 유기농 발광 다이오드 (OLED) 와 같은 대형 기판을 코팅 할 수 있습니다. 이 장치는 모듈식 (modular) 및 맞춤형 (customizable) 방식으로 제작되어 다양한 고객 요구에 맞게 맞춤형으로 구성할 수 있습니다. 여기에는 다양한 챔버 크기와 목표물, 내구성 및 유연성 향상을 위해 조절 가능한 가스 라인 (gas line) 이 포함됩니다. 공정 챔버는 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 구성되어 오염 물질로부터 강력한 보호를 제공합니다. 직경은 8 ~ 24 인치로 조정하여 다양한 기판 크기와 두께를 지원합니다. MRC 603의 DC 전원 공급 장치는 최대 100kW의 전력을 공급할 수 있으며, 코팅 과정에서 스퍼터 속도를 높일 수 있습니다. 또한, 잠재력과 전류를 정확하게 제어하여 정확하고 반복 가능한 코팅 결과를 제공합니다. 통합된 스퍼터 프로세스 제어 시스템 (Sputter Process Control Machine) 을 사용하면 정밀한 사용자 정의 프로세스 매개변수를 통해 비용 및 시간 효율성을 극대화할 수 있습니다. 이 도구는 저압 펄스 DC, Magnetron 및 Thermal을 포함한 다양한 모드에서 작동 할 수 있습니다. 603은 또한 양극과 2 개의 마그네트론을 특징으로 구성 될 수 있습니다. 이를 통해 2 개 또는 3 개의 독립적 인 목표를 동시에 스퍼터링할 수 있으며, 향상된 재생성 가능한 균질 성능을 제공합니다. 양극 (anode) 전원 공급 장치도 조정이 가능하여 대상의 수명을 연장할 수 있습니다. MRC 603에는 안전 접지 와이어 (Safety Ground Wire) 및 4 개의 압력 게이지 표시기 (Pressure Gauge Indicator) 와 같은 다양한 안전 및 보호 기능이 포함되어 있어 사용자 및 자산의 안전을 보장합니다. 또한, 모델의 오염 방지 모듈 (anti-contamination module) 은 교체 가능한 탄소 필터를 사용하여 표면의 오염과 산화로부터 보호합니다. 전반적으로, 603 스퍼터링 장비는 박막의 정밀 스퍼터링을위한 고급 도구입니다. 모듈식 디자인과 광범위한 기능을 통해 다양한 맞춤형, 비용 효율적인 고성능 코팅 (coating) 결과를 얻을 수 있습니다.