판매용 중고 MRC 603 #293667099

MRC 603은 진공 환경에서 증착을 위해 설계된 스퍼터 증착 장비입니다. 이 시스템은 스퍼터 소스, 이온 소스, 샘플 홀더, 진공 챔버 및 전원 공급 장치로 구성됩니다. 스퍼터 소스는 직류 (DC) 음극과 고 전압 (일반적으로 -400 ~ 1000 볼트) 으로 충전 된 양극으로 구성됩니다. 이 충전 은 양전하 "가스 '의" 이온' 의 폭격 을 일으키며, 그 결과 "이온 '은" 소오스' 에 들어 있는 물질 을 표본 보유자 에 스퍼터 '로 증착 시킨다. "이온 '원 은" 스퍼터링' 과정 중 에 생성 되는 양전하 "이온 '을 중화 시키는 데 사용 된다. 이것 은 "스퍼터 '를 당하는 입자 들 의 크기 가 균일 하므로, 표본 오염 의 위험성 을 감소 시킨다. 샘플 홀더는 회전 드럼으로 구성되며 최대 7 개의 샘플을 보관할 수 있습니다. 이를 통해 동일한 조건에서 반복 가능하고 고품질 증착이 가능합니다. 진공 챔버 (vacuum chamber) 는이 장치의 주요 구성 요소이며 10-5 Torr의 일정한 압력을 유지하도록 설계되었습니다. 이러 한 압력 을 유지 하기 위하여, 회전식 "펌프 '가 기계 에 설치 되어" 챔버' 를 대피 시키는 데 사용 된다. 약실 LCD 디스플레이에서 압력이 신중하게 모니터링되고 제어됩니다. 증착물 사이에서, 챔버는 하이 nm 클리너 카트리지 (high-nm cleaner cartridge) 를 사용하여 청소되며, 챔버 벽에서 내장 된 재료를 제거하는 데 사용됩니다. 전원 공급 장치 (power supply) 는 스퍼터 도구의 최종 구성 요소이며 스퍼터링 프로세스의 전류, 전압, 시간을 제어하는 데 사용됩니다. 최대 3 개의 소스를 동시에 제어 할 수 있으며, 추가 재료를 동시에 증착 할 수 있습니다. 또한 전원 공급 장치에는 타이머가 포함되어 있으므로, 정확하고 반복 가능한 스퍼터링 프로세스가 가능합니다. 요약하자면, 603 스퍼터 에셋은 진공 환경에서 부품 표면을 균일하고 일관되게 코팅하도록 설계되었습니다. 이 모델은 동시 증착을 허용하며, 작동하기 쉽고, 안정적인 결과를 제공합니다.