판매용 중고 MRC 603 #293666830

MRC 603은 박막 증착 공정을 위해 Nova Instruments, Inc.에서 설계 및 제조 한 다재다능하고 신뢰할 수있는 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템에는 최적의 증착 형상과 광범위한 프로세스 유연성을 제공하는 원형, 9 빈, 4 암 포탑이 있습니다. 포탑에는 최대 6 개의 다른 프로세스 또는 재료를 제어 할 수있는 충전 카드가 포함되어 있습니다. 603은 터치 스크린 PLC, 독립 DC 전원 공급 장치 및 프로세스 제약 기능을 통해 완전히 자동화된 프로세스 제어를 사용합니다. 이렇게 하면 증착이 반복되고 안전합니다. 또한 이 장치는 DC 및 RF 스퍼터링 (Sputtering) 구성을 모두 수용할 수 있도록 설계되었으며, 사용자는 시스템을 정확한 프로세스 요구에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 공구의 Control Station 은 프로세스 모니터링을 위해 최대 20 개의 다른 레시피를 저장할 수 있습니다. MRC 603에는 가스 처리 매니 폴드가 내장되어 있으므로 자산을 기존 진공 인프라에 쉽게 통합 할 수 있습니다. 최대 가스 흐름이 2.5 L/min으로, 이 모델은 공정 챔버에 가스를 효율적으로 전달 할 수 있습니다. 또한, 장비의 개방형 설계 HF/DC 발전기는 뛰어난 에치 균일성을 허용하는 반면, 이중 마그네트론 디자인은 이상적인 스퍼터링 환경을 제공합니다. 603 의 추가 기능에는 충분한 프로세스 영역과 높은 처리량을 제공하도록 설계된 91 인치 챔버가 포함됩니다. 6 인치 Teflon 창을 사용하면 시스템이 인듐, 텅스텐, 몰리브덴, 알루미늄, 스테인리스 스틸 및 합금과 같은 가공 재료를 스퍼터팅 할 수 있습니다. 또한 Teflon 창은 박막 광 발전과 같은 광학 응용 프로그램에 뛰어난 광학 선명도를 제공합니다. 전반적으로, MRC 603은 실험실 수준의 박막 증착 프로세스를 지원하는 데 필요한 모든 기능을 갖춘 고품질 스퍼터링 장치입니다. 이 기계는 효율적이고, 안정적이며, 비용 효율적이며, 고급 기능과 연계되어 있어, 대규모 산업 애플리케이션에도 적합합니다.