판매용 중고 MRC 603 #293658459

MRC 603 스퍼터링 장비는 초저압 작동을 통해 손상 및 오염을 최소화하면서 박막 미세 구조를 기판에 입금하는 데 사용되는 자기적으로 강화 된, 낮은 방출, 매우 높은 진공 작동 장치입니다. 코어에서 603 시스템은 3 인치 챔버 및 몰리브덴 마그네트론 스퍼터러로 구성되며, 최적의 프로세스 조건을 유지하기 위해 DC 전원 공급 장치, 컨트롤러 및 질량 흐름 컨트롤러가 있습니다. 이 장치는 장치 성능을 극대화하기 위해 높은 순도 (purity) 와 균일성 (unifority) 을 가진 재료를 배치하는 한편, 기판 온도, 스퍼터 속도 (sputter rate) 와 같은 프로세스 매개변수에 대한 제어를 제공하여 필름 특성을 쉽게 수정할 수 있도록 특별히 설계되었습니다. 또한, 낮은 방출 설계는 스퍼터 수율 손실과 더 깨끗한 환경을 최소화합니다. 이 기계는 내장 자석과 전자 빔 건 (electron beam gun) 으로 구성된 직류 반응 스퍼터 소스 (direct-current reactive sputter source) 를 사용하여 통제 된 입자 폭격을 전달하여 균일하고 안정성이 높은 필름 증착을 초래합니다. "마그네트 '는" 이온' 흐름 을 기질 쪽으로 인도 하는데, 이것 은 "마그네트론 '의" 스퍼터링' 머리 와 관련 하여 동심원 위치 에 있게 되며, 기질 의 표면 을 가로지르는 활력 있는 입자 들 을 고르게 분산 시키는 데 도움 이 된다. "스퍼터링 '력 과 압력 을 조절 함 으로써, 공구 는 정합성 있는" 그레인' 구조 와 최적 인 물질 특성 을 가진 물질 을 증착 시킬 수 있다. 이 자산에는 안전한 작동을 보장하기 위해 진공 펌프 인터 록 (vacuum pump interlock) 및 비상 정지 (emergency stop) 와 같은 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 모니터가 있는 '보기' 창과 '원격 비디오 카메라' 도 함께 제공되므로 사용자는 실시간으로 프로세스를 관찰할 수 있습니다. MRC 603 스퍼터링 모델 (sputtering model) 은 연구 및 산업 환경에서 광범위한 응용 프로그램에 적합하며, 박막 미세 구조를 만드는 데 적합합니다. 일관성 있는 고품질 필름을 제작하기 위한 효율적이고 저렴한 솔루션입니다.