판매용 중고 MRC 603 #293628797

MRC 603
제조사
MRC
모델
603
ID: 293628797
Sputtering system CTI-CRYOGENICS 10 Cyropump Turbo pump on load lock (3) Magnetron Spare parts.
MRC 603은 박막의 물리적 증기 증착 (PVD) 을 위해 설계된 완전 자동화 스퍼터링 장비입니다. 연구에서 생산까지 다양한 운영 및 프로세스를 위해 설계되었습니다. 강력한 스퍼터링 시스템 (Sputtering System) 은 반복성이 높은 재료의 부드럽고, 균일하며, 정확한 증착이 필요한 모든 응용 프로그램에 적합합니다. 603 에는 서로 다른 재료 유형으로 구성할 수 있는 6 개의 음극이 있으며, 이를 통해 PVD 프로세스를 다양한 요구 사항을 충족할 수 있습니다. MRC 603의 독특한 설계는 고정 (stationary) 구성에서 회전 (rotational) 구성까지 다양한 음극 구성을 가능하게 합니다. 이 장치는 또한 바이어싱 (biasing) 이 가능하여 기판을 최대 효율과 속도로 처리 할 수 있습니다. 603에는 반응성 스퍼터링에 적합한 온보드 플라즈마 발전기가 있습니다. 이 과정은 신뢰할 수 있고 균일 한 증착을 달성하는 데 권장됩니다. MRC 603 (MRC 603) 의 고급 소프트웨어 제품군을 사용하면 정확한 스퍼터링 매개변수를 설정하고 제어할 수 있으므로 고품질의 균일 한 필름을 보장합니다. "603 '의 견고 한 설계 를 통해 고출력 작동 을 할 수 있으며, 더 높은 처리량 으로 더 두꺼운" 필름' 을 증착 할 수 있다. 이 머신은 프로그램 가능한 컨트롤러를 사용하여 프로세스 매개변수 (parameter) 와 작업 (operations) 을 구동하여 사용자 정의 및 반복성을 쉽게 할 수 있도록 설계되었습니다. 높은 스퍼터링 속도로 필름의 효율적인 증착을 위해, MRC 603에는 디자인에 내장 된 완전 자동 기판 난방/냉각 도구가 있습니다. 이 로 말미암아 기판 의 온도 를 정확 히 조절 하여, 고도 의 균일 한 "필름 '을 달성 할 수 있다. 603은 다양한 인터 록 (interlock) 과 안전 시스템 (safety system) 이 설계 내에 내장되어 있어 다양한 어플리케이션으로 사용자 정의할 수 있습니다. 이것은 민감한 기판과 높은 순도 필름을 처리하는 동안 운영자의 안전을 보장합니다. MRC 603은 다양하고 신뢰할 수 있으며 혁신적인 스퍼터링 자산입니다. 리서치 애플리케이션 (Research Application) 에 사용하기에 적합할 뿐만 아니라, 기능이 풍부하여 생산 (Production) 에도 이상적입니다. 필름 스택 (film stack) 어셈블리와 같은 고급 응용 프로그램은 정확하고, 반복 가능하며, 정확한 필름 603을 사용할 수 있습니다.
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