판매용 중고 MRC 603 #201033

MRC 603은 MRC에서 제조 한 고급 스퍼터링 장비입니다. 얇은 금속과 산화물 생산을 위해 특별히 설계되었습니다. 이 시스템은 금속, 합금, 산화물, 화합물 등 다양한 물질을 증착 할 수 있습니다. 이 장치에는 최대 크기가 300mm 인 스퍼터링 대상이 두 개 있습니다. 두 대상 모두 최대 200 kV 의 DC 전압을 생성 할 수 있으며, 전원은 최대 25 kW 까지 조정 할 수 있습니다. 전극은 DC 전원을 사용하여 구동되며, 최대 4.5 nm/min의 증착율에 도달 할 수 있습니다. 603 은 고성능 타겟 포지셔닝 머신 (Target Positioning Machine) 을 탑재하여 다양한 크기의 타겟을 기판에 정확하게 배치할 수 있습니다. 또한 고급 스퍼터링 제어 도구 (Sputtering Control Tool) 를 사용하여 재료를 정확하고 반복 할 수 있습니다. 스퍼터링 에셋 (Sputtering Asset) 은 또한 빠른 재료 전송이 가능하며, 목표 단결 프로세스를 통해 수동 연산자 개입없이 정확한 조정을 보장합니다. 이 기능은 민감하거나 작은 재료를 사용할 때 매우 유용합니다. MRC 603에는 자동 압력 밸런싱 모델 (automated pressure balancing model) 이 있어 증착에 대한 최적의 조건을 유지하는 데 도움이됩니다. 진공 (vacuum) 에서 고압 (high-pressure) 환경까지 다양한 압력 조건에서 작동 할 수 있습니다. 이 장비는 또한 고급 절연 (Advanced Insulation) 및 냉각 (Cooling) 기능을 갖추고 있으며, 발열 기능이 다양하여 정확한 스퍼터링 결과를 보장합니다. 이온화 시스템이 내장되어 있어 오염의 위험을 줄일 수 있습니다. 전반적으로 603은 효율적이고 신뢰할 수있는 스퍼터링 장치 (sputtering unit) 로 얇은 금속과 산화물을 생성 할 수 있습니다. 내구성이 있으며, 최소한의 수동 개입으로 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 기계의 고급 기능은 모든 고급 증착 (High-End Deposition) 요구 사항에 적합한 선택입니다.