판매용 중고 MRC 603 III #9248081

MRC 603 III는 Oxford Instruments에서 설계 및 제조 한 진공 기반 스퍼터링 장비입니다. 반도체 및 관련 산업에서 박막 증착에 사용되는 PVD (Advanced Physical Vapor Deposition) 시스템입니다. MRC 603-III는 8 챔버 마그네트론 스퍼터링 유닛으로, 고품질 코팅 성능에 맞게 완전히 통합되고 최적화되었습니다. 독특한 듀얼 스테이트 마그네트론 스퍼터링 건 (dual-state magnetron sputtering gun) 구성으로 박막 품질을 최대화하는 데 도움이됩니다. 이 기계에는 로드 락 챔버, 고성능 터보 분자 펌프 (TMP) 및 통합 진공 프로세스 모니터링 도구가 포함됩니다. "뉴우요오크 '는 여러 가지 재료 를 높은 증착율 로" 스퍼터링' 할 수 있으며, 넓은 지역 의 응용 에 대한 우수 한 범위 를 제공 한다. 603 III는 다양한 고성능 반응성 가스 및 대상 재료를 증착에 사용합니다. 자산에는 전기 자기 방패 (electro magnetic shield) 가 장착되어 있으며 한 번에 최대 4 개의 마그네트론을 수용 할 수 있습니다. 603-III에는 고급 온도 조절 (advanced temper control), 가스 흐름 제어 (gas flow control), 증착 물질의 균질성 향상과 같은 광범위한 독점 프로세스 제어 기술이 통합되어 있습니다. 이 모델은 자동화된 기판 적재 및 언로드, 기판 반복성에 대한 일관된 기판을 통해 증착 프로세스의 최대 반복 가능성을 보장합니다. 다양한 온도, 속도, 압력 및 진공 제어 측정과 함께 MRC 603 III는 우수한 공정 일관성을 제공하며 금속, 플라스틱, 유리, 세라믹 및 기타 특수 재료와 같은 다양한 기판에 대한 고품질 증착 프로세스를 제공합니다. 또한이 장비에는 고급 하위 시스템 제어, 모니터링 및 진단 기능이 있습니다. 모든 프로세스 매개변수 (process parameter) 는 쉽게 모니터링할 수 있으며, 특정 시간에 시스템 성능 및 프로세스 조건에 대한 정확한 데이터를 제공합니다. MRC 603-III에는 데이터 입력, 프로세스 모니터링, 장치 진단 및 프로세스 제어를 위한 고급 터치 스크린 HMI (Human-Machine Interface) 도 있습니다. 결론적으로 603 III는 뛰어난 박막 성능을 제공하는 고급 비용 효율적인 스퍼터링 머신입니다. 강력한 기능으로, 이 도구는 넓은 영역 증착에 적합하며, 반복 가능한 공정 결과를 가진 고품질 박막 (thin film) 을 생산합니다.